Luca05BL TeSys-036383 疫情對工作和生活方式的改變，讓全世界正以的速度邁向數字化，由此也帶來了對半導體和晶圓制造設備的強勁需求。有預測顯示，到2030年，半導體行業規模將達到1萬億美元，若設備市場追隨其增長，晶圓廠設備的支出將從2020年的近600億美元增至2030年的逾1000億美元。
在5G、AI、物聯網等技術的進一步驅動下，未來10年將是半導體行業的擴張時期。然而，芯片技術的傳統驅動力“摩爾定律”已經失去動力，無法在功率（Power）、性能（Performance）、降低面積成本（Area-Cost）和上市時間（Time-to-market），即PPACt上同步改進。因此，半導體行業亟須一種“新戰略”來繼續推動芯片PPACt的改進。作為材料工程解決方案的，應用材料公司致力于加速推進PPACt“新戰略”，以釋放物聯網、大數據和人工智能的潛力。
以新戰略驅動半導體產業發展
長期以來，應用材料公司憑借其在制造、成型、改變、分析和連接芯片結構與設備方面所擁有的領先業界的廣泛技術，支撐全球半導體工藝的演進發展。
“‘新戰略’包括五個關鍵部分：新的半導體系統架構、3D結構、新型材料、縮小晶體管尺寸等新方法，以及能以新方式連接芯片的先進封裝方案。”應用材料公司集團副總裁、應用材料中國公司總裁余定陸表示。
這一預見性的創新發展方式，已經體現在應用材料公司的產品研發上。從2020年應用材料公司推出的兩款產品中，可以看出該公司協助客戶提升PPACt的兩種思維。
一是以應用材料公司最新的Endura Volta Selective Tungsten CVD 系統為代表。它可以讓芯片制造商選擇性地在晶體管導線通孔進行鎢沉積，由此突破晶圓代工-隨邏輯節點2D尺寸繼續微縮的關鍵瓶頸。
二是為客戶提供全新的材料成型和成像方法，以改善PPCAt。Centris Sym3刻蝕產品系列的新成員Sym3 Y，能讓芯片制造商在尖端存儲器和邏輯芯片上以更加精細的尺寸成像和成型，是實現新型3D結構并開辟繼續進行2D微縮的新途徑。
通過科技力量“創建美好未來”
人工智能在加快氣候變化、疾病預防、公共衛生等全球性議題的研究進展方面有著巨大潛力，但同時它的技術進步和突破也需要越來越多能源的支撐。因此，人們需要推動每瓦特計算解決方案性能的顯著提升，以支撐重要技術進展的可持續增長。
作為行業，應用材料公司不僅致力于通過提供技術創新以加速客戶路線圖的實現，而且始終強調這個過程中可持續發展的重要性。在2020年，應用材料公司提出一系列10年行動計劃，促進企業、產業和世界三個層面的可持續發展。
作為企業，為減少公司運營對環境的影響，應用材料公司致力于實現100%可再生能源采購，并到2030年減碳50%;公司遵循“科學碳目標”倡議以及“氣候相關財務信息披露工作組”的建議。
在產業層面，應用材料公司提出制造系統“3個30”目標，即通過研發更高效的產品，到2030年實現每個晶圓的制造等值能耗降低30%，化學品消耗降低30%，吞吐量密度（每平方英尺潔凈室空間的晶圓加工量）提升30%。此外，應用材料公司還公布了SuCCESS2030計劃，旨在為半導體和顯示器制造業構建更具可持續性且更加公正的供應鏈。
對于世界的可持續發展，應用材料公司則呼吁更廣泛的行業協作，讓人工智能時代的計算從材料到系統都能實現更高的能源效率。
面向設備行業增長期持續創新
半導體產業正在迎來技術換擋期，拉動設備行業進入新的增長時代。2000年至2013年，隨著300毫米晶圓產能提升、Fab自動化和芯片制造商整合，設備銷售增長放緩，設備資本密集度下降趨勢結束。在此期間，設備資本密集度從17%下降到9%，設備行業的收入在各個高峰時期都被限制在350億美元左右。如今，設備資本密集度已經回到40年來12%左右的平均水平，設備收入再次與芯片行業同步增長。
“從企業個體到整體經濟加速數字化轉型，推動半導體產業的長期增長動力從消費電子設備擴展至物聯網、人工智能和5G等非全權商業投資，重塑各行各業潛力。應用材料公司圍繞這樣的未來愿景，對戰略和投資方向進行了調整，并不斷推出致力于解決行業發展價值問題的創新產品，確保我們實現可持續的長遠成功。”余定陸表示。
隨著深入人工智能時代，世界將會越來越依賴半導體。應用材料公司將持續通過PPACt“新戰略”驅動半導體行業的創新，同時攜手供應商、客戶以及計算和電子產業，共同“創建美好未來”。
Luca05BL TeSys-036383 Samco DP-200D Diamond Like Carbon (DLC) PECVD & Etch
STS Multiplex ICP chamber, Plasma Source, good parts
Orion Reticle Photomask Inspection with Aludra system
Ultratech Stepper Model 2700, used for Parts or rebuilt
ADVANCED ENERGY MDX-10K and MDX-20K, lots of 16, used
2 Zygo KMS400 Inspection equipment, Objectives, stages
POWER SUPPLY RF Generators, LOT OF 9 USED
TEL ETCH RF generator rack and Turbo controller rack
ADVANCED ENERGY DC Power Supply lots of 10, used, a
Brooks 001-7600-02 VacuTran 5 VTR5 Transfer Robot Drive
Nicolet ECO-8S FTIR Spectrometer
JEOL JSM-6400 F SEM, scanning electron microscope
Varian Portatest II model 956 leak checker, Tested
Advanced Energy VHF 2060 RF GENERATOR AMAT 0920-00056
CTI IS 1000 Cryo Compressor 8135921G001 AMAT3620-00317
4 used AE Advanced Energy HFV 8000 RF Generator
2 NEW AMAT 0100-76181 WIRING DISTRIBUTION PCB CVD 5000
30 STEC MFC SEC-4400M, WF6, SiH4, SiF4, Used
NANOMETRICS NANOLINE IV line width measuring system
Semitool WST-306M Solvent Spray, 5 or 6 inch wafer,used
MECS Transfer Robot Track YC505, MECS CS7000 controller
Veeco XRF-2000AT X-Ray Measurement System
Novellus Sequel HDP Speed chamber body
APPLIED MATERIALS, AMAT 0010-21668 PVD magnet. New
YES-RCM3, Yield Engineering System
RFPP 7520581010, RFPP AE RF50S 5KW RF power products
AE APEX 1513, 1.5 K HALO A3L5L000BA140D111A, 0920-00067
AE 3156110-014 APEX 1513, 1.5KW A8L2A000BA140L011A, New
Advanced Energy PDX 5000 RF GENERATOR 3156043-207 A
AMAT 0010-37163 Throttle valve assy 2 phase chamber
AMAT 0010-37163 assy, DPS Chamber throttle valve NEW
New Applied Material 0010-37163 DPS Cham throttle valve
AMAT 0010-70264 & AMAT 0010-70149 HP Robot Driver
NEW FOCUS, AFOP MODEL GYCW-3 FIBER OPTIC Work Station
Leybold/Oerlikon TMP 1100C turbo pump, look very clean
2 unit AE Apex 4000-27 RF Generator, 4000 W, 27.12 MHz
NEW FOCUS, AFOP MODEL GYCW-4 FIBER OPTIC Work Station
NEW AE MDX-L6 POWER SUPPLY 3152343-000B, 0190-76190-001
AE Navigator RF MATCH 3155132-002 C, AMAT 0920-00004
AE Navigator RF MATCH 3155132-001 D, AMAT 0190-15168
COMDEL CLX2500 RF GENERATOR AMAT 0190-01370W CALIBRATED
Osaka Turbo pump TS 443CW and Turbo Controller TD360
Tokyo Electron TEL Fujikin WVG Water Vapor Generator
Advanced Energy RFG 3000 3155038-000 E Power supply
Advanced Energy RFG 1250 RF Generator AE 3155027-000 S
Comdel CLF-5000 RF Generator, Novellus 27-10140-00,
TWO CTI CRYOGENICS 8107813G001, 8F cryopump, used
TECHWARE PROCESS CONTROLLER TC 3P-DX, looks very clean.
NEW Advanced Energy Navigator RF MATCH 3155132-001 D
Unit 8560 Series DeviceNet UFC-8565 O2 He Lot's of 8
REICHERT EPISTAR MICROSCOPE 2571 Lots of 5
Trazar Corp. RF Match AMU10E-2, REV.A, P/N 27-118072-00
BOC EDWARDS QDP80 DRY VACUUM PUMP WITH AMAT CONTROLLER
STEC LSC- 8410B, Liquid Source Controller, Looks clean
KOMATSU ELECTRONICS DW621 NEW IN BOX
AE ADVANCED ENERGY PLASMA 3151802-003 AMAT 0920-00124
AMAT HEAT EXCHANGER AMAT 0 ENDURA SYSTEM P544
CTI-CRYOGENICS 8300 compressor, 8001 controller
CTI-CRYOGENICS 8300 compressor, 8004 controller
Seiko Seiki Turbo Controller unit STP-H1000C lots of 2
CTI CRYOGENICS 8033165 CRYO PUMP 8, looks very clean
18 used Tylan FC-260 MFC, H2, O2, HCl, Cl2, WF6
EDWARDS QDP80 DRY VACUUM PUMP + AMAT CONTROLLER BOX
EDWARDS QDP80 DRY VACUUM PUMP with controller box
BOC EDWARDS QDP80 DRY VACUUM PUMP 208V + CONTROLLER BOX
Lot of 10 MFC, UNIT UFC-1660, N2, He, Unit MFC
Lot of 10 MFC, UNIT UFC-1660, N2, Cl2, O2 Unit MFC
BOC Edwards Dry Vacuum Pump QDP80, and Blower, untested
ENI Genesis GW5002MA-F1H131-A3 3000W RF Generator W/Cal
ADVANCED ENERGY MDX DC power supply, lots of 7
Applied Materials AMAT 0010-21751 Resonator, 300 mm
GALIL DMC-1580 motion controller and power supply, rack
ADVANCED ENERGY Navigator RF Bias Match 3155126-008A
alcatel pump 2033, leybold D90A, leybold D30A, Vac pump
AE Advanced Energy HFV 8000 RF Generator 3155083-109
ENI OEM-12B-07 RF Generator AMAT 0190-76048 calibrated
Thermonics T-2500 Precision Temperature Forcing System
Trazar Corp. RF Match RFDS-1, REV 3, P/N 553-07491-00
SEIKO SEIKI STP-H1301L1B Turbo cont LAM 796-360188-001
ENI MWD-25LD-02 RF MATCH
CTI Cryo pump 8, Model # 8033165, surplus item
BOC EDWARDS QDP 40 vacuum pump with Module, untested
COMDEL CLX-1250 2 MHz RF generator P/N FP1215R2
AE RF MATCH BOX NOVELLUS 19-111025-00 , used
RF SERVICES, MODEL RFS 716 P/N 233110-01A REV: A
RF SERVICES, MODEL RFS 716 P/N 233110-01 REV: A
Nova NovaScan 420 Controller new 210-48000-01
Genmark, precision automated transfer systems, 5064340
Novellus 02-103960-00 Controller Platform P166/64
COMDEL CLX-1250 RF Generator 1.75-2.15 MHz
Novellus Match 02-282128-00, used
ACL C13170 1.25kW Microwave power source
Novellus System 02-321899-00 REV.A Module controller
MKS ENI GMW-50 RF Generator, untested
Novellus 02-103970-00 ASSY,MOD CONT,P166/64 controller
BOC EDWARDS QDP 40 vacuum pump with Silencer, untested
BOC EDWARDS QDP 40 vacuum pump with Silencer, untested
BOC EDWARDS QDP 40 vacuum pump with Silencer, untested
BOC EDWARDS QDP 40 vacuum pump with Silencer, untested
ENI DPGS-10 DC Generator, AMAT 0190-36274, OEM BOX
7 STEC MFC SEC-4400M, O2, SiH4, Ar, BCl3, Cl2, used
Thermo Neslab M25 chiller, used, as is
Novellus 02-105005-00 ASSY,MC,P166,W/8 RS232 controller
EDWARDS DP80 Dry Vacuum Pump, used, as is
ENI OEM-25A-21091-51 RF Generator, 2500 W, 13.56 MHz,
RFPP RF Generator ICP-20P Model# 8511139050, 2000 W
Advanced Energy PDW 600, AE 3156014 Lam # 853-15516-003
ENI OEM-12B-07 RF Generator, 1200W at 13.56 MHz
Lot of 6 MFC, UNIT UFC-1660, N2, Cl2, He Unit MFC
Lot of 6 MFC, UNIT UFC-1660, O2, Cl2, Unit MFC
ENI OEM-12B-02 RF Generator, 1250W at 13.56 MHz, used
ENI OEM-12B-02 RF Generator, 1250W at 13.56 MHz, used
ENI GHW-12Z Genesis RF Generator 1250W, AMAT 0190-09832
ROLLER B CELL HDSIOC NOVELLUS 02-336512-00 REV. 1
HDSIOC ROLLER B NOVELLUS 02-308058-00 VERSION 4.72
XCEDA FAC HDSIOC NOVELLUS 02-309772-00 VERSION 4.72
ISOC HI-LO TRANSFER NOVELLUS 02-131736-00 REV. A
PDL OXIDE HDSIOC 3 NOVELLUS 02-273741-00 VERSION 4.72
ISIOC DAMA CLEAN BB-DFE DIGITAL DYNAMICS G19-10000-00
APPLIED ENERGIES 750V 3153110-001
Pfeiffer TCP 600 Turbo pump Controller
ENI DCG-200 DC Plasma Generator, AMAT 0190-08033
AE Advanced Energy MDX-20K Master 3152223-003-Y, used
AE Advanced Energy MDX-20K Master, AE Model 3152223-003
AE Advanced Energy MDX-10K Master, AE Model 3152012-041
LAM 852-014681-583 RF Generator ENI OEM-6A-11491-52
Advanced energy 2026-000-D, ASM LDM PLASMA Generator
VARIAN Turbo-V 250 MACRO TORR turbo pump 969-9007S004
AE RFPP LF-5 RF Generator and RFPP ATL-100RA RF Match
ENI OEM-12A-21041-51 RF Generator, 1250W at 13.56 MHz
ENI OEM-12B-01 RF Generator, 1250W at 13.56 MHz, used
ENI OEM-12B-1 RF Generator, 1250W at 13.56 MHz, used
8 used Tylan FC-261 N2, H2, O2
ENI RF Generator OEM-12A, 1250W at 13.56 MHz
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