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1769-OV16產品操作

1769-OV16光學經濟學

當時的飛利浦研究公司（PhilipsResearch）大量參與了開發面向未來芯片的光刻技術。它支持ASML，但同時開發了自己的步進器。這些被稱為“SiliconRepeaters”的機器旨在用于Mega項目，飛利浦和西門子的追趕賽已開始在存儲芯片方面與日本同行相提并論。研究steppers是一條安全帶。萬一ASML和其他商業光刻供應商無法交付，飛利浦計劃制造自己的光刻機。

Carasso與高層管理人員討論了挑戰，這些高層管理人員包括CeesKrijgsman——PhilipsElcoma的主管和Mega項目的負責人。在與Elcoma進行的一次研究會議上，克里格曼在非正式的時候對Carasso說：“Marino，坦白說，您的SiliconRepeater走了多遠，我什么時候應該切換到另一種技術？半微米？”Carasso猶豫地回答：“十分之四微米，十分之三？很有可能十分之二，但在此之下，我開始產生懷疑。”

但是，在ASML成立的那段時間，電子束諾言中出現了個裂縫。1984年初，在瓦里安（Varian）宣布無法交付批直接寫入設備之后，通用信號（GeneralSignal）決定停止其開發。但是后者公司仍然樂觀。“我們仍然認為，對于短期VLSI和門陣列，電子束將是可行的，”瓦里安光刻產品部門總經理布魯斯·道伊爾（BruceDoyle）在1984年初公開表示。但是，他不想這樣做。取消光學器件：“多重光刻工藝有足夠的空間。步進器，X射線和電子束將相互補充，而不會相互競爭。”

但是Perkin-Elmer電子束技術部門的副總經理CharlesBiechler一直吹噓：“鑒于最小線寬為1微米，并且芯片不是過于復雜……我們每小時可以提供30個4英寸晶圓的生產量。”夸大其詞，他補充說，這樣的速度與晶圓步進器可以達到的速度相當（實際上，ASML的PAS2000當時每小時可以處理60個晶圓）。他堅持認為：“當您談論未來的0.5微米芯片時，沒有什么可以像直接寫入系統那樣處理它們了。”

Perkin-Elmer和Varian的官員都將發貨延遲歸因于為生產環境設計機器的基本問題。瓦里安（Varian）發言人在1984年指出：“挑戰在于自動化以及如何提高產量。來自劍橋儀器公司或飛利浦的R＆D直寫機可能具有103個旋鈕供工程師使用。消除旋鈕是一項非常困難的工作。”

但是最終，就像卡拉索斯所正確預測的那樣，固有的慢速直寫電子束無法與光學經濟學相提并論。當大量的計算能力變得可用時，Mapper勇于嘗試為半導體制造商提供EUV的替代產品，但不幸的是，它失敗了，此后，其大多數工程師加入了ASML，以幫助巨人提供電子束計量系統。

在1980年代，許多工程師將日本公司JEOL（也生產電子顯微鏡）視作直接寫入設備的提供商。JEOL仍然活躍于半導體的電子束領域，但是直接寫入仍然是一個利基市場。

1769-OV16  Tschechische Republik
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