1769-OG16產品說明
1769-OG16 上周，在線上SPIE光刻技術研討會上，ASML的JosBenschop明確表示，光學技術至少在2030年之前將繼續推動芯片制造發展。他的開發人員現在正在研究HighNAEUV，他甚至還談到了hyper-NA。
這也是光學領域的五十年歷程。
在1990年代中期，目前所謂的EUV被稱為軟X射線，但半導體行業將其稱為“極紫外光”，因為這聽起來更容易接受。盡管掩模的多層反射鏡和光路使它變得極為復雜，但仍然可以使用光學器件對其進行操作。
ASML的業務計劃（1984年8月3日）明確指出，晶圓步進機將在1990年左右達到頂峰。
持續了半個世紀的光學，誰會想到呢？當然不是在1984年春季制定ASML商業計劃的人。因為當時他們他們正在認真考慮逐步淘汰衍射光學的途徑-EUV尚未列入其路線圖。顯然，帶有透鏡和燈光的光刻技術將在1990年左右達到頂峰。這完全符合當時的假設。每個人似乎都同意可用光源的波長是芯片成像的限制因素。
1984年，ASML的三大目標之一就是發展成為公認的“其他光刻設備”供應商，以在80年代末實現批量生產。該聲明清楚地表明，當時業界對于制造芯片的光學方法仍然不確定。這就是為什么該公司開發電子束光學器件和X射線光刻技術的雄心是其要務-低于期望的前三名的市場地位，但高于扭虧為盈并償還所有債務。
大多數行業對下一代光刻技術的賭注都在電子束上。1984年，ASML甚至出售了直接的電子束編寫器。它不擁有這些電子束模式發生器。該技術是由飛利浦在Redhill的研究實驗室開發的，并由埃因霍溫的飛利浦S＆I制造。飛利浦已經出售了一些儀器，ASML也可以通過出售這些儀器來賺錢。期望電子束光刻技術將在芯片制造中占據中心地位，并且可能是年輕的光刻公司的未來必需品。
ASML總經理GjaltSmit在其商業計劃中寫道：“有跡象表明，對晶圓加工設備的電子束技術的興趣日益增加，這使其對于80年代后期的連續性至關重要！痹1984年完全不清楚光學技術是否會具有這種持久力。該計劃預測成像即將接近終點。
在2012年，我與前飛利浦研究部經理MarinoCarasso進行的一次采訪中，他向我介紹了這一斗爭。在八十年代，他與Redhill的電子束光刻技術的進行了激烈的討論。“那時，我認為在200納米以下的芯片上打印細節會變得非常棘手。至少，我不敢向芯片生產商保證！盋arasso說。“我們確實看到，您可以用這樣的電子束很好地書寫小東西，但是要花很多時間才能產生圖像。電子束開發人員無法向我們解釋如何加快該過程。為了匹配步進機的速度，他們不得不向機器提供很多信息。我的觀點始終是：你們可以發明世界，但永遠不能以每秒TB的速度傳輸信息！
1769-OG16
MVME2432-3 MVME2434-1 MVME2434-3 MVME2603-1161 MVME2604-1121A
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MVME2604-1141B MVME2604-1151A MVME2604-1151B
MVME2604-1161A MVME2604-1161B MVME2604-1351 MVME2604-3351
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MVME333S-2 MVME333X25 MVME335A MVME340B MVME374 MVME374-001 MVME376
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MVME3604-6342 MVME5100-0161 MVME5100-0163 MVME51005E-0161
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MVME7100-0161 MVME7100-0163 MVME7100-0171 MVME7100-0173
MVME705-1 MVME705A MVME709-1 MVME712A/AM MVME712B
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Indramat AC-Servo Bleeder TBM 1.2-040-W1
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