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KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220 濺射沉積鈦金屬薄膜
KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220 濺射沉積鈦金屬薄膜 價格:11  元(人民幣) 產地:美國
最少起訂量:1 發貨地:本地至全國
上架時間:2021-02-25 15:58:04 瀏覽量:163
伯東企業(上海)有限公司  
經營模式:代理商 公司類型:外商獨資
所屬行業:真空泵 主要客戶:
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聯系人: (先生) 手機:15201951076
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郵箱:marketing@hakuto-vacuum.cn 地址:上海市浦東新區新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206

詳細介紹

鈦金屬具有許多優異的性能例如低密度高熔點耐腐蝕無磁性和硅基襯底結合力好具有形狀記憶和吸氫特性等因此對于磁控濺射沉積鈦薄膜的研究有很多.

 

上海大學研究室在多層鈦膜做微觀結構的研究中采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220 濺射沉積鈦薄膜做加熱電路提高器件溫度,從而提高光波導器件中硅材料的折射率.

 

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP220 技術參數:

離子源型號

RFICP220

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>800 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

20 cm Φ

離子束

聚焦,  平行,  散射

流量

10-40 sccm

通氣

Ar,  Kr,  Xe,  O2,  N2,  H2,  其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長度

30 cm

直徑

41 cm

中和器

LFN 2000

可選燈絲中和器可變長度的增量

KRI 射頻離子源 RFICP 220

 

KRI 離子源的獨特功能實現了更好的性能增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經獲得了理想的薄膜和表面特性而這些特性在不使用 KRI 離子源技術的情況下是無法實現的.

 

因此該研究項目才采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220 輔助濺射沉積工藝.

 

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵,  檢漏儀,  質譜儀,  真空計,  美國 KRI 考夫曼離子源,  美國HVA 真空閥門,  美國 inTEST 高低溫沖擊測試機,  美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的代理商.

 

若您需要進一步的了解詳細信息或討論,  請參考以下聯絡方式:

上海伯東羅先生                               臺灣伯東王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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