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Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 用于陶瓷板 Pt、Au、Cr 薄膜刻蝕
Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 用于陶瓷板 Pt、Au、Cr 薄膜刻蝕 價格:11  元(人民幣) 產地:日本
最少起訂量:1 發貨地:本地至全國
上架時間:2021-01-19 15:27:02 瀏覽量:185
伯東企業(上海)有限公司  
經營模式:代理商 公司類型:外商獨資
所屬行業:真空泵 主要客戶:
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聯系方式

聯系人: (先生) 手機:15201951076
電話: 傳真:
郵箱:marketing@hakuto-vacuum.cn 地址:上海市浦東新區新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206

詳細介紹

深圳某電子公司采用Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 對陶瓷板的 PtAuCr 薄膜刻蝕高端印制電路板生產為主

 

Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 技術參數

 

Φ4 inch X 12

基片尺寸

Φ4 inch X 12

Φ5 inch X 10

Φ6 inch X 8

均勻性

±5%

硅片刻蝕率

20 nm/min

樣品臺

直接冷卻,水冷

離子源

Φ20cm 考夫曼離子源

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Hakuto 離子刻蝕機 20IBE-J 的核心構件離子源采用的是伯東公司代理美國 考夫曼博士創立的 KRI考夫曼公司的射頻離子源 RFICP220

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術參數:

離子源型號

RFICP 220

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>800 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

20 cm Φ

離子束

聚焦平行散射

流量

10-40 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

中和器

LFN 2000

 

推薦  Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J  理由:

1. 客戶要求規模化生產,  Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 適合大規模量產使用

2. 刻蝕均勻性 ±5%, 滿足客戶要求

3. 工作臺冷卻方式直接水冷

4. 樣品裝載數: 18/批(2″)或4/批(4″)

 

若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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