| Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 運(yùn)用于鐵電薄膜研究 |
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價(jià)格：2000000 元(人民幣) | 產(chǎn)地：日本 |
| 最少起訂量：1臺(tái) | 發(fā)貨地：本地至全國(guó) | |
| 上架時(shí)間：2020-12-09 14:49:53 | 瀏覽量：117 | |
伯東企業(yè)(上海)有限公司
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| 經(jīng)營(yíng)模式：代理商 | 公司類(lèi)型：外商獨(dú)資 | |
| 所屬行業(yè)：真空泵 | 主要客戶： | |
 在線咨詢(xún)  |
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| 聯(lián)系人:羅 (先生) | 手機(jī):15201951076 |
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| 郵箱:marketing@hakuto-vacuum.cn | 地址:上海市浦東新區(qū)新金橋路1888號(hào)36號(hào)樓7樓702室 201206 |
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某研究所在 PZT 鐵電薄膜的電學(xué)性能研究中運(yùn)用伯東 Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE.
Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 技術(shù)參數(shù):
Hakuto 離子刻蝕機(jī) 10IBE 離子源是配伯東公司代理美國(guó)考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的考夫曼離子源 KDC 160
伯東美國(guó) KRI 考夫曼離子源 KDC160 技術(shù)參數(shù)：
Hakuto 離子刻蝕機(jī) 10IBE 真空腔采用 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 700, 可抽的真空度 < 1 · 10-7 hpa, 良好的保持真空腔的真空度.
研究表面采用伯東 Hakuto 離子刻蝕機(jī) 10IBE 刻蝕工藝后, PZT薄膜的鐵電性能幾乎能恢復(fù)到蝕刻前, 如矯頑場(chǎng)值、漏電流、疲勞性能等, 鐵電性能會(huì)得到更好的改善.有利于提高貼點(diǎn)存儲(chǔ)密度, 降低生產(chǎn)成本.
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