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INDRAMAT MOD1/1X0298-407 電子束曝光結(jié)構(gòu)

電子束曝光的基本結(jié)構(gòu)，從上往下依次為：電子槍、電子槍準(zhǔn)直系統(tǒng)、電磁透鏡、消像散器、偏轉(zhuǎn)器、物鏡、光闌（Aperture）、電子探測器、工作臺（stage）以及真空泵（離子泵、分子泵、機(jī)械泵）。

電子槍：高分辨率的熱場發(fā)射，配有高壓，電子束的能量通常在10~100KeV。

電子槍準(zhǔn)直系統(tǒng)：對電子槍發(fā)出的電子束進(jìn)行較直。

電磁透鏡：與光學(xué)透鏡類似，聚焦電子束。

消像散器：調(diào)節(jié)聚焦像散，減少誤差。

光闌：改變電子束流。

INDRAMAT MOD1/1X0298-407

26 CPCR-SWA6B-Y18  22
27 DDSCR-GL40S1 CPU MODULE 1
28 DDSCR-GL40S3 CPU MODULE 4
29 DDSCR-GL60H CPU MODULE 2
30 DDSCR-GL60S2 CPU MODULE 2
31 DDSCR-R84H-M Memocon-SC U84H 1
32 DDSCR-U84-124 Memocon-SC U84 CPU CARD 1
33 JAMSC-B1011 I/O BUFFER 1
34 JAMSC-B1050 Memocon-SC U84 I/O Card 5
35 JAMSC-B1051B MODULE I/O 1000 SERIES 29
36 JAMSC-B1055 MODULE 2
37 JAMSC-B1056  4
38 JAMSC-B1058 MODULE I/O 1000 SERIES 3
39 JAMSC-B1058V  3
40 JAMSC-B1059  3
41 JAMSC-B1059C Memocon-SC U84 I/O Card 14
42 JAMSC-B1062V  3
43 JAMSC-B1063V  3
44 JAMSC-B1064 OUTPUT MODULE 24VDC 11
45 JAMSC-B1065E INPUT MODULE 24VDC 1
46 JAMSC-B1067B  10
47 JAMSC-B1068  12
48 JAMSC-B1069B  19
49 JAMSC-B1070V REGISTER OUTPUT 2
50 JAMSC-B1073-2 Memocon-SC U84 19
51 JAMSC-B1090B MODULE I/O 1000 SERIES 28
52 JAMSC-B2110A MODULE PLC I/O BUFFER 10
53 JAMSC-B2500V MODULE PLC OUTPUT 1
54 JAMSC-B2504 MODULE PLC OUTPUT 15
55 JAMSC-B2602A OUTPUT MODULE 24 TRANSISTOR 4
56 JAMSC-B2603 INPUT MODULE PLC 21
57 JAMSC-B2604 OUTPUT MODULE PLC 1
58 JAMSC-B2605 INPUT MODULE PLC INPUT 4
59 JAMSC-B2700 I/O REGISTER OUTPUT MODULE 4
60 JAMSC-B2701 DATA REGISTER MODULE 4
61 JAMSC-B2702 INTELLIGENT I/O MODULE 4
62 JAMSC-B2733V MODULE INPUT 2
63 JAMSC-B27C2  2
64 JAMSC-B2801 COUNTER MODULE REVERSABLE MEMOCON-SC U84 I/O 1
65 JAMSC-B2803 POSITION MODULE 7
66 JAMSC-B2808  7
67 JAMSC-B2813T  12
68 JAMSC-B2833 MODULE PLC INTELLIGENT I/O 6
69 JAMSC-B2902 MODULE PLC RELAY OUTPUT 2
70 JAMSC-C8110 COMM MODULE 1
71 JAMSC-C8120 MODULE 2
72 JAMSC-C8150 Memocon-SC U84H  1
73 JAMSC-C8610E COMMUNICATIONS MODULE 1
74 JAMSC-IF60 PLC I/O PROCESSOR 2
75 JAMSC-IF61 COMMUNICATION MODULE 1
76 JAMSC-IF612 COMMUNICATION MODULE 4
77 JAMSC-IF62A REMOTE 1/0 DRIVER MODULE 7
78 JAMSC-IF64 MODULE IF64 LINK 6
79 JAMSC-IF70T RECEIVER PLC REMOTE I/O 4
80 JAMSC-IF70V RECEIVER PLC REMOTE I/O 1
81 JAMSC-P8051 Memocon-SC U84 Power Supply 1
82 JAMSC-S8125 Memocon-SC U84 1
83 JANCD-CG23-1 DF8202769-B0 2
84 JANCD-FC861 CNC I/O BOARD PCB 4
85 JANCD-JIF01-1  1
86 JANCD-JIF01-2  1
87 JANCD-JCP05-1  2
88 JANCD-SR20B-1 DTN-5330/AXIS CPU PBC 2
89 JANCD-SR21-1 AXIS CPU BOARD PCB 2
90 JEFMC-CU10-10C  1
91 JRMSI-B1027
 Memocon-SC U84 Mount-Base 4
92 JRMSI-B1034 Memocon-SC U84 Mount-Base 4
93 JRMSI-B1021  4
94 JRMSI-B1025  7
95 JRMSP-P8051 Memocon-SC U84H Power Supply 4
96 JRMSP-P8051Y  1
97 JRMSP-P8054 Memocon-SC U84H Power Supply 1
98 JRMSP-P8101 Memocon-SC U84H Power Supply 1
99 JRMSP-PS22A POWER MODULE 8
100 JRMSP-PS40 POWER MODULE 4
101 JRMSP-PS60 POWER SUPPLY 4
102 JUSP-RA05  1
103 JUSP-TYNCIC  1

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