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Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL3100用于蝕刻覆銅板
Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL3100用于蝕刻覆銅板 價格:2000000  元(人民幣) 產地:日本
最少起訂量:1 發貨地:本地至全國
上架時間:2020-12-07 16:07:51 瀏覽量:138
伯東企業(上海)有限公司  
經營模式:代理商 公司類型:外商獨資
所屬行業:真空泵 主要客戶:
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郵箱:marketing@hakuto-vacuum.cn 地址:上海市浦東新區新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206

詳細介紹

Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL3100用于蝕刻覆銅板


某印制板線路板生產工廠采用伯東 Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL3100 將覆銅板上不需要的銅蝕刻掉, 將需要保留的銅保留下來.

 

Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL3100 技術參數:

Model

MEL3100

Wafer size

3"~6"

Wafer per batch

1 wafer

Cassette No.

25 wafers

Cassette Q'ty

1pc.

Throughput

10 (wafer/hr) *1

Pressure Ultimate

8×10-5 (Pa) *2

Pressure Process

2×10-2 (Pa) *2

Etching Rate

>10 (nm/min)@SiO2 *3

Etching Uniformity

±5%@132mm (6") *3

Wafer surface temp.

<100℃ *3

Stage rotating

1~20 (rpm) ±5%

Stage tilting

±90°±0.5°

*1: Estimated process time 5min

*2: No wafer on stege / process chamber

*3: Depending on process

 

該工廠采用 Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 的主要原因:

1. 所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產品的無差錯、高穩定性和高質量

2. 采用高質量的蝕刻考夫曼離子源, 保證良好的均勻性和高蝕刻率

3. 占用空間小

4. 控制單元系統提供操作通過觸摸屏/ 10.4英寸, 數據記錄可以顯示在屏幕上

5. 高冷卻效果

6. 良好的重復性和再現性的旋轉和傾斜階段具有良好的可重復性利用脈沖電動機

7. 快速響應時間和本地服務能力, 減少停機時間的工具

 

工廠采用 Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 運行結果:

1. 提高蝕刻過程的均勻性

2. 提高精密程度, 提高產線的生產工藝能力

3. 提高產線的生產率, 降低勞動強度, 保證生產的連續性

 

若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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