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IC693CPU350 產品說明
IC693CPU350 產品說明 價格:223  元(人民幣) 產地:IC693CPU350
最少起訂量:1 發貨地:IC693CPU350
上架時間:2020-12-04 15:03:22 瀏覽量:46
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IC693CPU350 光掩模的技術挑戰

光掩模技術也是光刻產業當中重要的一個環節,光掩模是集成電路的模板,隨著晶體管變得越來越小,光掩模的制造也變得越來越復雜。就目前市場情況來看,電子束系統是制作光掩模的主要曝光技術。其曝光的精度可以達到納米量級,因為可被廣泛使用于超大規模集成電路中,受到了市場的青睞。

光掩模作為集成電路的原始模板,其精度必須得以保障,因此,在生產過程中超出預期尺寸的缺陷必須得到識別和糾正。因此,電子束修復也成為了光掩模技術當中重要的一環。

蔡司是提供電子束修復機的設備公司之一,其MeRiT系統代表了基于電子束技術修復高端光掩模的先進工具。基于電子束技術,MeRiT系統能夠執行極其精確的修復,以消除關鍵的光掩模缺陷。

據蔡司中國半導體光掩模解決方案銷售及商務服務總監徐慕鄧介紹,光掩模的光學影像模擬測量系統也是蔡司另一項優勢技術。據悉,自1993年推出以來,光學影像模擬測量技術已成為光掩模制造的主流驗證方式。蔡司的光學影像模擬測量系統可通過光學測量來進行模擬光刻機成像。他表示:“采用這種方式,可以在光罩廠中對光掩模進行曝光模擬及測量驗證,而無需進行晶圓曝光,這節省了光掩模制造過程中的時間和成本。”

蔡司半導體光掩模解決方案(SMS)是致力于光掩模生產技術研究和應用的部門。據其官方網站介紹,該戰略業務部門憑借其在光學和電子光學領域的核心競爭力以及獨特的電子束技術,可以向其市場提供評估掩模缺陷,修復關鍵缺陷并修復結果的產品以及專用的光掩模測量解決方案。目前,這些設備被全球領先的光掩模制造商和晶圓廠使用。徐慕鄧表示,光掩模解決方案同樣也是蔡司半導體事業部在中國市場的主要業務。為了加強對中國市場的支持,蔡司于2018年在中國正式建立了一支Mask solution團隊,致力于中國地區的銷售、應用以及售后服務。


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