TMB系列的特點
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由于使用了電機(jī)直接連接型,因此產(chǎn)生的灰塵更少。
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低振動和低噪音
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易于維護(hù)和檢查的結(jié)構(gòu)
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通過控制變頻器(選件)可以排出大氣壓
TMB系列陣容
*規(guī)格和建議零售價如有變更,恕不另行通知。
TMB系列性能曲線
*規(guī)格和建議零售價如有變更,恕不另行通知。
預(yù)防措施
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我們的羅茨真空泵是根據(jù)以下規(guī)格設(shè)計和制造的。
(1)進(jìn)氣類型的空氣和惰性氣體(N 2,CO 2,He,Ne,Ar,Kr,Xe,Rn···)
(2)吸入氣體的溫度5?40°C
(3)環(huán)境溫度
5-40 °C (4)常壓泵壓力約1.3k-10 -1 Pa
(5)其他切勿吸入大氣壓。切勿吸入水等液體。
*如果條件與上述條件不同,請與我們聯(lián)系。
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當(dāng)在以下應(yīng)用中使用時,標(biāo)準(zhǔn)真空泵會使油和腐蝕部件變質(zhì),從而導(dǎo)致排氣性能下降并極大地縮短泵的使用壽命。
(1)腐蝕性氣體(Cl 2,CCl 4,CF 4,BBr 3,HBr 4 ···)[示例]
即使在※特殊規(guī)格的真空泵中也使用易燃或易爆的離子注入,蝕刻,CVD等不要吸入強(qiáng)物質(zhì)。
(2)起停次數(shù)多時
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