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卓爾凡電力科技生產半導體刻蝕機專用穩變一體機，輸入三相380V/50Hz，輸出三相208V/60Hz，穩壓精度±0.5%，適用于刻蝕機、薄膜沉積設備、離子注入機的精密供電。136–8892–0723

為什么刻蝕機需要穩變一體機？

刻蝕機在工作時，等離子體的密度和能量直接決定刻蝕精度。電壓波動會導致等離子熄滅或能量突變，造成刻蝕不均勻、側壁垂直度偏差，整批晶圓報廢。進口刻蝕設備多為208V額定電壓，國內工廠為380V電網，中間需要變壓及精密穩壓。

核心風險：電壓暫降

電壓暫降是半導體工廠最常見的電能質量問題。真空泵和制冷機組啟動時，電壓可能瞬間跌落20%-50%，持續0.1-0.5秒；電網短路或雷擊也會造成類似問題。電壓暫降會導致刻蝕機等離子熄滅、薄膜沉積速率突變、離子注入束流中斷。

普通變壓器沒有動態補償能力，電壓跌落時輸出同步跌落。穩變一體機持續監測輸入電壓，當輸入波動時自動調整輸出電壓，使其始終穩定在設定值的±0.5%以內。

產品技術參數

• 輸入電壓：三相380V/50Hz

• 輸出電壓：三相208V/60Hz（可定制200V/220V/400V/480V等）

• 穩壓精度：±0.5%

• 響應速度：≤30ms

• 總諧波失真（THD）：≤3%

• 絕緣等級：H級

產品結構

• 變壓器+穩壓器+濾波+保護，四合一集成于一臺機柜

• 原副邊雙重屏蔽隔離

• 整機經72小時滿載老化測試后出廠

適用設備

刻蝕機、PECVD薄膜沉積設備、離子注入機、濺射臺、勻膠顯影機

關于SEMI F47標準

SEMI F47是半導體設備電壓暫降抗擾度規范，是晶圓廠設備采購的基本要求。標準規定設備在電壓跌落至50%持續0.2秒、70%持續0.5秒、80%持續1秒的情況下應能正常工作。該標準要求設備具備一定的耐受能力，并非設備主動補償，普通變壓器無動態補償功能，無法滿足SEMI F47的測試要求。對于配置了DVR等快速響應補償裝置的方案，理論上可滿足SEMI F47對電壓暫降的抗擾度要求，具體需結合現場電網條件和選型配置綜合評估，建議用戶根據實際工況向我司技術部門咨詢確認。

選型建議

容量按負載功率×1.3-1.5倍選型。建議配置DVR（動態電壓恢復器）構成組合方案，響應速度小于1毫秒，應對瞬間電壓暫降。

公司信息

卓爾凡電力科技有限公司
主營：穩變一體機、精密穩壓器、船用變壓器、陸用變壓器、變頻電源、調壓器
地址：廣東省東莞市