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卓爾凡電力科技生產半導體光刻機專用穩變一體機，輸入三相380V/50Hz，輸出三相208V/60Hz，穩壓精度±0.5%，適用于進口光刻機及配套設備的精密供電。136-889=2-0723

為什么半導體設備必須用穩變一體機？

半導體制造是納米級工藝，電壓波動容忍度極小。一次電壓暫降可能導致整批晶圓報廢，損失數百萬元。進口光刻機額定電壓208V（北美制式），國內電網380V，必須先變壓。同時晶圓廠對電壓精度要求極高，實測數據顯示電壓波動超過±2%即可能導致光刻對位偏差。

穩變一體機在變壓基礎上提供主動穩壓，輸入波動時輸出始終穩定在設定值。普通變壓器無動態補償能力，電網電壓跌落時輸出同步跌落，無法滿足半導體制造要求。

產品技術參數

• 輸入電壓：三相380V/50Hz

• 輸出電壓：三相208V/60Hz（可定制其他電壓）

• 穩壓精度：±0.5%

• 響應速度：≤30ms

• 效率：≥97%

• 絕緣等級：H級

• 總諧波失真（THD）：≤3%

產品結構

• 變壓器+穩壓器+濾波+保護，四合一集成

• 原副邊雙重屏蔽隔離，滿足潔凈室電磁兼容要求

• 整機經72小時滿載老化測試后出廠

• 輸入側多級調壓抽頭，適應廠區實際電壓

適用設備

ASML光刻機、尼康光刻機、佳能光刻機、涂膠顯影設備、刻蝕機配套電源

關于SEMI F47標準

SEMI F47是半導體設備電壓暫降抗擾度規范，是晶圓廠設備采購的基本要求。標準規定設備在電壓跌落至50%持續0.2秒、70%持續0.5秒、80%持續1秒的情況下應能正常工作。該標準要求設備具備一定的耐受能力，并非設備主動補償，普通變壓器無動態補償功能，無法滿足SEMI F47的測試要求。對于配置了DVR等快速響應補償裝置的方案，理論上可滿足SEMI F47對電壓暫降的抗擾度要求，具體需結合現場電網條件和選型配置綜合評估，建議用戶根據實際工況向我司技術部門咨詢確認。

選型建議

容量按負載功率×1.3-1.5倍選型。如有頻繁啟停的大功率設備（如真空泵、制冷機組），建議按1.5倍選型，或疊加DVR（動態電壓恢復器）應對瞬間電壓暫降。

公司信息

卓爾凡電力科技有限公司。卓爾凡黃經理 負責變壓器的選型和銷售
主營：穩變一體機、精密穩壓器、船用變壓器、陸用變壓器、變頻電源、調壓器
地址：廣東省東莞市