| BROOKS調節器 |
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價格：916 元(人民幣) | 產地：美國 |
| 最少起訂量：1件 | 發貨地：上海上海 | |
| 上架時間：2026-09-03 16:41:57 | 瀏覽量：34 | |
上海蘊匠貿易有限公司
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| 經營模式：貿易公司 | 公司類型：其他有限責任公司 | |
| 所屬行業：低壓電器 | 主要客戶：大陸 | |
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| 聯系人:楊瑾玉 (小姐) | 手機:13310105281 |
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上海蘊匠貿易有限公司銷售美國BROOKS流量計、BROOKS質量流量控制器、 BROOKS變送器、BROOKS壓力傳感器、BROOKS真空計、BROOKS調節器等全系列 產品。 在半導體制造、光伏新能源、生物醫藥、特種氣體及科研實驗等工業領域， 氣體流量的控制直接決定著產品良 率與工藝穩定性。作為熱式質量流量控制 器（MFC）領域的標桿品牌，Brooks Instrument（布魯克斯儀器）以 其精度 、超快的響應速度和高的可靠性，被晶圓廠和設備廠商廣泛采用。 一、關于 Brooks Instrument： Brooks Instrument總部位于美國，是流量測量與控制設備制造商，擁有超過 七十年的行業積淀。其產品覆蓋 熱式質量流量控制器（MFC）、質量流量計 、壓力控制器、液位計及真空測量設備等多個品類，廣泛應用于半 導體、平 板顯示、LED、光伏、特種氣體、分析儀器及科研院所等對氣體控制精度要求 高的領域。 在半導體行業，Brooks的GF系列金屬密封MFC幾乎成為行業標配。從3 sccm的 微量氣體控制到300 slpm的大流 量輸送，Brooks以全金屬密封流路、 Hastelloy耐腐蝕傳感器、MultiFlo多氣體多量程可編程技術以及?? EtherCAT/DeviceNet/RS-485 等豐富的通信接口，滿足了從先進制程到傳統 工藝的需求。 二、核心產品推薦：BROOKS GF100 系列質量流量控制器 以BROOKS GF100 系列為例，該系列是Brooks面向高純度氣體應用推出的旗艦 級金屬密封 MFC，具備以下核心 優勢： - 超寬量程覆蓋：標準型覆蓋 3 sccm 至 55 slpm（N當量），大流量型 （GF101/GF121/GF126）延伸至 300? slpm，滿足不同工藝場景。 - 精度：流量精度達 ±1% S.P.（20–100量程），重復性 ±0.15% S.P.， 長期零點漂移≤±0.15% F.S./ 年 ，確保長期穩定運行。 - 超快響應：常閉閥響應時間低至 300 ms–1 秒，提升設備產能與晶圓間一 致性。 - 全金屬密封流路：接液材料采用 316L VIM/VAR 不銹鋼、Hastelloy C-22? 等材料，支持 5 μinch 或 10? μinch Ra 表面光潔度選項，外部泄漏率低 至 1×101 atmcc/sec He。 - MultiFlo技術：一臺設備支持數千種氣體類型和量程組合，無需拆管即可 通過軟件切換，大幅降低備件庫存 成本。 - 豐富通信接口：支持 EtherCAT、DeviceNet、RS-485 及模擬0-5 Vdc，適 配各類主流半導體設備控制系統。 以典型型號GF100CXXC-SH452.6L-VXVOE0-XXXXAX-000為例，該型號為 2.6? slpm 滿量程、1/4" VCR 接口、常 閉閥、EtherCAT 通信、真空下游應用配 置，廣泛用于刻蝕、CVD 等工藝腔的氣體輸送。可提供從選型咨詢、 型號確 認到現貨供應的一站式服務。 除GF100系列外，公司還供應Brooks全系列產品，包括GF120/GF125（更快響 應、壓力瞬態不敏感）、 GF120XSL/GF120XSD（SDS 輸送系統）、 SLA5850/SLA7850 系列（橡膠密封經濟型 MFC）、Quantim 系列科里 奧利質 量流量控制器以及壓力控制器、真空計等配套產品。 -SLA5800系列（經典款，行業通用MFC） 彈性密封，流量：0.003 ~ 2500 slpm；精度 ±0.6% SP；重復性 0.2% SP； 量程比 100:1；半導體、實驗室 、鍍膜常用。 - SLAMF系列 彈性密封，IP66 防護，戶外 / 工業環境，參數和 SLA5800 接近，適合需要 更高防護的工藝。 - GF80/GF81系列（金屬密封MFC） 第四代 MultiFlo技術，可現場切換氣體、改量程；金屬密封，適配腐蝕性、 特種氣體；CVD、刻蝕、光伏、真 空工藝。 -GF10系列 新一代數字型 MFC，自帶故障自診斷，高速通訊（EtherCAT、Profinet 等） ，半導體先進制程。 -5700系列 經濟型熱式質量流量計（單純測量，不帶控制閥），無移動部件，吹掃氣、 在線分析、替換轉子流量計。 三、公司核心優勢包括： 1. 渠道可靠：所有BROOKS產品均來自zheng規渠道，可提供原廠出廠校準證書及 完整的產品溯源信息，沒有翻新 、仿冒產品。 2. 專業選型，技術支持：公司擁有經驗豐富的技術團隊，可根據客戶的氣體 類型、量程、接口、通信協議、 下游壓力等工藝參數，提供型號匹配與替代 方案咨詢。 3. 現貨庫存，快速交貨：針對半導體行業常用型號備有現貨庫存，常規型號 交貨周期短，急單可協調空運， 大限度縮短客戶等待時間。 4. 售后完善，服務無憂：提供產品安裝指導、故障排查、原廠維修校準對接 等全生命周期服務，解決客戶后 顧之憂。 5. 價格透明，誠信經營：公司堅持公開透明的報價體系，批量采購可享受優 惠價格，支持合同簽訂、zeng值稅 專用發piao等zheng規商務流程。 四、服務領域與客戶群體 涵蓋： - 半導體制造：晶圓廠、封測廠、半導體設備廠商（刻蝕機、CVD、PVD、離 子注入機等） - 光伏與新能源：光伏電池片制造、氫能、燃料電池、鋰電池涂布等 - 平板顯示與 LED：LCD/OLED 面板制造、LED 外延片及芯片生產 - 特種氣體與化工：電子特氣、標準氣體配比、氣相色譜（GC）載氣控制 - 科研與高校：實驗室氣體管路、材料科學、表面分析儀器 - 生物醫藥：發酵罐通氣、無菌氣體控制、實驗室分析儀器 部分型號： BROOKS? 流量計? GF100CXXC-SH452.6L-VXVOE0-XXXXAX-000 BROOKS? 流量計? GF100CXXC-0607200C-VXVOE0-XXXXAX-000 BROOKS? 流量計? GF100CXXC-0015200C-VXVOE0-XXXXAX-000 BROOKS? 流量計? GF100CXXC-0015100C-VXVOE0-XXXXAX-000 BROOKS? 流量計? GF100CXXC-0013200C-VXVOE0-XXXXAX-000 BROOKS? 流量計? GF100CXXC-0004200C-VXVOE0-XXXXAX-000 BROOKS? 流量計? GF100CXXC-0004010C-VXVOE0-XXXXAX-000 |
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