產品概述
塞維歐SEIVIO Vaculub B042 潔凈室真空潤滑脂采用蒸汽壓較低的直線分子結構的全氟聚醚油，PTFE稠化，并添加特種抗腐蝕添加劑精制而成的。是專為高潔凈度無塵室 + 高 / 超高真空環境設計的特種潤滑脂，核心使命是：潤滑同時，不產生可揮發氣體（Outgassing）、不釋放微米 / 納米級顆粒、不污染精密表面（晶圓、光學鏡片、傳感器），滿足 Class 1~Class 100 級潔凈室與 10??~10??? Pa 超高真空工況要求。
產品特性
+ 極低揮發性 / 極低蒸氣壓（核心）
真空下不揮發、不逸出小分子，避免油霧、冷凝膜污染光學 / 半導體元件；飽和蒸氣壓通！10?? Pa（室溫），滿足超高真空（UHV）要求；
+ 杜絕釋氣（Outgassing）導致的真空度下降、鍍膜缺陷、鏡片 “起霧”；
+ 極低發塵 / 低顆粒釋放
配方超純、無雜質、無金屬離子；運動剪切時不產生固體碎屑、磨粒，控制顆粒尺寸＜0.1μm，符合 ISO 14644 潔凈室標準；
+ 高化學 / 熱穩定性、惰性
耐酸堿、耐強氧化劑、耐等離子體 / 輻射，不與半導體工藝氣體、清洗劑、密封材料（氟橡膠、PTFE）反應；寬溫（-70℃~280℃）下不分解、不硬化、不流失。
應用領域
適用于典型應用場景（半導體核心設備）
· 半導體：光刻機、晶圓傳輸機器人、真空腔體、線性導軌 / 絲杠、真空閥門、機械手關節。
· 真空設備：電子顯微鏡、質譜儀、真空鍍膜機、離子注入機、超高真空系統。
· 光學 / 精密：激光設備、光學鏡頭、精密位移平臺、醫療手術機器人、生物實驗室潔凈設備。
包裝規格
1kg/罐裝 訂貨號 147802
儲存運輸
應在常溫、陰涼、避光處保存，禁止在陽光下直曬，以免油脂分離及分解。在原包裝中保質期可達36個月。
使用建議
薄涂原則： 只需要在表面形成一層連續的薄膜即可。過量的油脂可能會被吸入真空泵造成污染，或流進反應瓶影響實驗結果。
徹底清潔： 在更換或重新涂抹前，必須用異丙基醇、己烷或專用清洗劑將舊的殘余油脂及吸附的灰塵徹底清除。
關于塞維歐®SEIVIO
作為比瑟奴潤滑科技®在中國的子品牌，塞維歐致力于為客戶提供高品質的潔凈室真空潤滑脂應用解決方案、專業的技術支持與優質的服務。聯系我們，了解更多產品信息！
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