產品概述
塞維歐SEIVIO Vaculub B042 半導體真空潤滑脂采用蒸汽壓較低的直線分子結構的全氟聚醚油，PTFE稠化，并添加特種抗腐蝕添加劑精制而成的。是一種專門為半導體制造設備、高真空環境及潔凈室設計的特種潤滑劑。在半導體生產過程中，由于涉及極高真空、極高/極低溫以及對微小塵埃的“零容忍”，普通潤滑油會揮發并污染芯片，因此必須使用這種高性能的合成脂。
產品特性
+ 極低蒸氣壓（低揮發性）：這是最關鍵的特性。在真空環境下，普通油脂會迅速揮發成氣體，不僅導致潤滑失效，還會污染真空腔體和晶圓；
+ 高潔凈度（低出氣量）：嚴格控制總質量損失（TML）和可冷凝揮發物（CVCM），確保不會產生冷凝物沉積在精密的光學元件或硅片上；
+ 優異的耐化學性：半導體工藝常涉及蝕刻氣體、等離子體和各種化學試劑。這種潤滑脂通常采用全氟聚醚（PFPE）基礎油，能抵抗強酸、強堿及強氧化劑；
+ 不導電與抗輻射：良好的介電性能，且在離子注入等涉及輻射的工序中不會變質。
應用領域
適用于典型應用場景（半導體核心設備）
真空腔體密封：PVD/CVD 鍍膜、刻蝕機、離子注入機、ALD、擴散爐、真空烘箱的法蘭、O 型圈、接頭、門閥密封；
精密傳動潤滑：晶圓傳輸機械手、真空軸承、滾珠絲杠、線性導軌、真空閥門、真空泵、光刻機 / 步進機的運動部件潤滑；
光學 / 真空部件：激光設備、真空視窗、光學鏡頭、舞臺燈光等精密真空光學系統。
包裝規格
1kg/罐裝 訂貨號 147802
儲存運輸
應在常溫、陰涼、避光處保存，禁止在陽光下直曬，以免油脂分離及分解。在原包裝中保質期可達36個月。
使用建議
薄涂原則： 只需要在表面形成一層連續的薄膜即可。過量的油脂可能會被吸入真空泵造成污染，或流進反應瓶影響實驗結果。
徹底清潔： 在更換或重新涂抹前，必須用異丙基醇、己烷或專用清洗劑將舊的殘余油脂及吸附的灰塵徹底清除。
關于塞維歐®SEIVIO
作為比瑟奴潤滑科技®在中國的子品牌，塞維歐致力于為客戶提供高品質的半導體真空潤滑脂應用解決方案、專業的技術支持與優質的服務。聯系我們，了解更多產品信息！
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