| SZ-CLO系列半導(dǎo)體封裝晶圓退火真空氮?dú)馑淼罓t |
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近日,志昇全新研發(fā)的真空氮?dú)馑淼罓t正式推向市場(chǎng)。該設(shè)備集真空脫氧、氮?dú)夥雷o(hù)、連續(xù)化作業(yè)于一體,憑借領(lǐng)先的工藝技術(shù)與穩(wěn)定性能,成為半導(dǎo)體、新能源、光電等高端制造領(lǐng)域的優(yōu)選制程設(shè)備。
據(jù)了解,這款設(shè)備核心采用真空與高純氮?dú)怆p重防護(hù)技術(shù),爐體全密封結(jié)構(gòu)搭配多級(jí)真空機(jī)組,可快速置換內(nèi)部空氣,將氧含量嚴(yán)格控制在極低標(biāo)準(zhǔn),有效避免工件高溫氧化。設(shè)備劃分多個(gè)獨(dú)立溫區(qū),結(jié)合復(fù)合加熱與循環(huán)送風(fēng)系統(tǒng),溫控精準(zhǔn)、爐內(nèi)溫度分布均勻,同時(shí)配置高效過(guò)濾裝置,保障爐內(nèi)高潔凈環(huán)境,滿足精密生產(chǎn)要求。
在實(shí)際運(yùn)行中,設(shè)備溫控范圍廣,支持多段程序控溫,可靈活適配不同生產(chǎn)工藝。連續(xù)式輸送結(jié)構(gòu)能夠直接對(duì)接自動(dòng)化產(chǎn)線,實(shí)現(xiàn)流水線不間斷作業(yè),大幅提升生產(chǎn)效率。設(shè)備搭載智能控制系統(tǒng),支持參數(shù)存儲(chǔ)、遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè)與數(shù)據(jù)追溯,且優(yōu)化了氣路與能耗設(shè)計(jì),相比傳統(tǒng)設(shè)備更加節(jié)能環(huán)保,運(yùn)行故障率低,后期維護(hù)簡(jiǎn)單。
目前,該款隧道爐應(yīng)用場(chǎng)景十分廣泛,可用于半導(dǎo)體封裝、晶圓退火、鋰電池極片干燥、光學(xué)器件固化、精密電子元件除潮等多個(gè)工序。
當(dāng)下,國(guó)內(nèi)高端制造業(yè)加速轉(zhuǎn)型升級(jí),無(wú)氧、潔凈、智能化工業(yè)爐設(shè)備市場(chǎng)需求持續(xù)攀升,行業(yè)發(fā)展勢(shì)頭強(qiáng)勁。志昇真空氮?dú)馑淼罓t立足本土市場(chǎng)需求,依托自主核心技術(shù),兼顧品質(zhì)與性價(jià)比,有效填補(bǔ)市場(chǎng)需求缺口。業(yè)內(nèi)人士表示,隨著下游產(chǎn)業(yè)不斷壯大,該設(shè)備市場(chǎng)空間將持續(xù)拓展,也將助力國(guó)內(nèi)精密制造產(chǎn)業(yè)提質(zhì)增效、穩(wěn)步前行。
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