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長野計(jì)器NKS半導(dǎo)體高純氣體專用數(shù)顯壓力表ZT61-ZFE

	價(jià)格：2800 元(人民幣)	產(chǎn)地：國外國外
	最少起訂量：1臺(tái)	發(fā)貨地：上海
	上架時(shí)間：2026-06-04 14:50:32	瀏覽量：8
	納加霍里科技（上海）有限公司
	經(jīng)營模式：經(jīng)銷商	公司類型：其他
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長野計(jì)器NKS半導(dǎo)體高純氣體專用數(shù)顯壓力表ZT61-ZFE

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產(chǎn)品概述

ZT61 是面向半導(dǎo)體特氣供給回路、適配 1.125 標(biāo)準(zhǔn)集成安裝接口的一體化數(shù)顯壓力表，兩線制品類已停止生產(chǎn)，現(xiàn)貨為比較器 + 三線制模擬輸出配置；采用特種合金焊接傳感結(jié)構(gòu)，滿足電子行業(yè)高純工藝氣體的氣密、防腐使用需求，實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場示數(shù)查看、超限報(bào)警、遠(yuǎn)程信號(hào)變送功能。

產(chǎn)品核心優(yōu)勢

標(biāo)準(zhǔn) 1.125 集成接口，氣源柜模塊化配套

匹配半導(dǎo)體行業(yè)通用 1.125 集成安裝尺寸，適配閥組、特氣控制柜集成裝配，設(shè)備柜體布局規(guī)整。
PCVD 工藝應(yīng)變片，長效耐用抗疲勞

應(yīng)變片采用氣相沉積工藝附著于金屬膜片，規(guī)避傳統(tǒng)粘貼式應(yīng)變片易脫落弊病，反復(fù)壓力交變工況使用壽命更長。
全焊接傳感結(jié)構(gòu)，氣密防腐雙保障

SUS316L 管路接頭與鈷鎳合金 / SUS316L 傳感器一體熔焊，無滲漏縫隙，耐特種腐蝕工藝氣體，長期使用氣密性穩(wěn)定。
多功能集成輸出，適配自動(dòng)化特氣系統(tǒng)

自帶 LED 就地顯示、比較器開關(guān)報(bào)警、三線制模擬變送，一路儀表即可完成現(xiàn)場巡檢、超壓聯(lián)鎖、中控?cái)?shù)據(jù)采集。
成熟材質(zhì)方案，半導(dǎo)體行業(yè)實(shí)測落地

鈷鎳合金與 316L 雙傳感材質(zhì)可選，歷經(jīng)大量半導(dǎo)體供氣項(xiàng)目驗(yàn)證，適配惰性氣體、特種制程氣體測量。

適用場景

晶圓廠高純特氣控制柜、光伏電子氣源管路、實(shí)驗(yàn)室特種氣體輸送系統(tǒng)、半導(dǎo)體設(shè)備機(jī)臺(tái)供氣壓力監(jiān)測。

使用提示

選型注意：兩線制產(chǎn)品已停產(chǎn)，采購選用三線制式；根據(jù)被測氣體腐蝕性選擇鈷鎳合金或 SUS316L 傳感材質(zhì)。

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