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志昇百級無塵真空隧道爐將真空脫氣、百級潔凈環境與連續隧道式烘烤三大技術集于一體，專為光學鍍膜、精密電子灌封及半導體封裝等需要在真空無塵條件下連續烘烤的工藝而設計，有效消除氣泡與微塵污染，提升產品可靠性。

一、技術特點

• 真空+百級無塵雙重保障：隧道內設多段真空腔室，可分段抽真空與氮氣回填，同時配備HEPA/ULPA過濾與微正壓密封，潔凈度達Class 100，在真空狀態下仍保持無塵環境。

• 分區獨立控溫：沿輸送方向設置2～5個獨立溫區，每區溫度可單獨設定，溫度均勻度≤±1.5%，滿足階梯固化工藝。

• 低振動輸送：采用耐高溫防靜電特氟龍網帶，變頻調速，運行平穩，適合精密元器件。

• 高密封低泄漏：腔體氦質譜檢漏，真空泄漏率≤1×10?? Pa·m?/s，保壓性能優異。

二、核心功能

• 全自動程控：觸摸屏可設定多段真空-加熱-氮氣回填曲線，存儲多組配方，一鍵啟動。

• 數據追溯：實時記錄各區溫度、真空度、輸送速度，數據導出或對接MES。

• 安全聯鎖：超溫報警、真空泵過載、門鎖互鎖、緊急停機。

三、應用領域

• 光學鍍膜：鏡片鍍膜前真空除氣、膜層固化。

• 電子灌封：LED、電源模塊灌膠真空脫泡連續固化。

• 半導體封裝：底部填充膠真空脫泡、銀漿固化。

• 鋰電池：極片真空干燥、電解液浸潤。

四、應用參數（典型值）

五、服務與保障

• 定制設計：根據工藝需求設計真空段長度、溫區數及爐體尺寸。

• 安裝驗證：上門安裝，完成真空泄漏率、潔凈度及溫度均勻性測試。

• 保修：整機12個月（真空泵6個月），終身維護，24小時響應。

六、使用說明

1. 開機前：檢查真空泵油位、氮氣源及網帶張緊，清潔爐腔。

2. 設定配方：輸入各段溫度、真空度、輸送速度及氮氣時序。

3. 預熱抽空：啟動真空與加熱，達設定值后穩定15分鐘。

4. 連續生產：放置產品于入料口，自動進入隧道，依次經歷真空脫泡、氮氣回填、加熱固化。

5. 出料：產品經冷卻段后出料，檢查氣泡與表面潔凈度。

6. 停機：停進料，待產品出盡后關加熱與真空，冷卻后關總電。

7. 保養：每周清潔密封帶及風道；每月換真空泵油；每半年校準真空計及溫控儀表。

志昇百級無塵真空隧道爐以連續化、真空脫泡、無塵潔凈為核心，助力精密制造提升效率與品質。歡迎定制。