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表面粒子計數(shù)器如何進行3Q認證服務(wù)

“表面粒子計數(shù)器”通常指用于潔凈環(huán)境（如制藥、電子、航空航天等行業(yè)）中監(jiān)測空氣中塵埃粒子數(shù)量和粒徑分布的儀器，主流類型包括?激光塵埃粒子計數(shù)器?和?凝結(jié)核粒子計數(shù)器（CPC）???。在受監(jiān)管行業(yè)（如GMP環(huán)境）中，這類設(shè)備常需進行?3Q認證?（即IQ、OQ、PQ），以確保其安裝、運行和性能符合預(yù)期要求。

?什么是3Q認證？?

3Q認證是針對儀器或系統(tǒng)的三個確認階段，不等同于“認證”（Certification），而是?確認?（Qualification）過程，核心目的是證明設(shè)備在實際使用條件下能持續(xù)穩(wěn)定運行并滿足規(guī)定要求??：

• ?IQ（Installation Qualification，安裝確認）?：確認設(shè)備已按制造商要求正確安裝，包括環(huán)境條件（溫濕度、潔凈度）、電源、氣路、文件資料（說明書、合格證、校準證書）等。

• ?OQ（Operational Qualification，運行確認）?：在空載或標準負載下，測試設(shè)備在操作極限范圍內(nèi)的功能是否正常（如流量穩(wěn)定性、粒徑通道準確性、報警功能等）。

• ?PQ（Perｆormance Qualification，性能確認）?：在實際使用條件下，通過標準粒子或已知濃度樣品驗證設(shè)備的測量準確性、重復(fù)性、重現(xiàn)性等關(guān)鍵性能指標??

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表面粒子計數(shù)器Y09-110SPD

特點：

·符合T/CAMDI 009.1-2020，ISO 21501-4-9，T/CAMDI 009.1-2020，IEST-STD-CC1246D和21 CFR-Part11標準
·對曝光機，顯影機，蝕刻、黃光偏光板貼附機臺
·可快速測量設(shè)備表面，實時顯示顆粒數(shù)值，確認機臺、零件表面潔凈度
·能降低清洗維護成本，提高設(shè)備維護效率
·可確認產(chǎn)品制程前后的粒子分布情況，以確定污染源
·配備多種異形探測頭，滿足客戶多樣化需求
·自凈時間短，預(yù)防保護維護（PM）周期少，效率高

特點：

Y09-110SPD型表面塵埃粒子計數(shù)器通過氣流方式將附著在表面的顆粒重新進行懸浮，通過采集懸浮顆粒，使用基于激光光學(xué)傳感器和光散射原理，獲取懸浮粒子的散射光信號，進行計數(shù)顯示。

主要用于半導(dǎo)體晶圓表面、光學(xué)元件、集成電路板等生產(chǎn)環(huán)境檢測。為半導(dǎo)體制程工藝提供數(shù)據(jù),提高良品率與可靠性。

原創(chuàng)作者：蘇州星源潔凈環(huán)境科技有限公司