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MYH-COPST 是 MYHMICRO（銘衍海）出品的納米氧化鈰水性拋光液，專為光學(xué)玻璃、半導(dǎo)體、顯示面板、汽車玻璃等硬脆材料超精密平坦化設(shè)計，核心優(yōu)勢為高去除速率、高選擇比、低損傷、易清洗、穩(wěn)定性強。

SHAPE \* MERGEFORMAT

一、產(chǎn)品參數(shù)

基礎(chǔ)理化參數(shù)

• 產(chǎn)品型號：MYH-COPST
• 品牌：MYHMICRO
• CAS 號：1306-38-3（CeO?）
• 外觀：粉紅色液體

包裝規(guī)格：1KG/桶，

• 產(chǎn)地：江蘇?常州
• 安全性：非危險品、水性環(huán)保、無腐蝕

• 去除速率（MRR）：對 SiO?/ 石英玻璃＞500 nm/min（標(biāo)準工藝）
• 表面粗糙度（Ra）：≤0.1–0.5 nm（精拋后，AFM 測量）
• 表面缺陷：零可見劃痕、低亞表面損傷
• 清洗性：水性易沖洗、無殘留

二、產(chǎn)品特點

1. 高效化學(xué)機械協(xié)同拋光

采用 CMP 化學(xué)機械協(xié)同原理，CeO?與 SiO?表面形成 Ce-O-Si 橋鍵軟化表層，配合納米顆粒精準微磨削，實現(xiàn)高切削力 + 低損傷，拋光效率遠優(yōu)于純機械研磨。

2. 高選擇性與高平坦度

對硅基材料（SiO?、石英、玻璃）去除極快，對 Si、Si?N?、金屬去除速率極低，選擇比＞200:1，適配半導(dǎo)體 STI、ILD 等高選擇比場景；拋光后表面無橘皮、無麻點、平面高。

3. 優(yōu)質(zhì)顆粒與穩(wěn)定分散

選用高純度球形納米 CeO?，粒徑分布窄、無大顆粒雜質(zhì)，減少劃痕風(fēng)險；專用分散劑確保長期均勻懸浮、不沉降、不團聚，無需頻繁攪拌，工藝穩(wěn)定性高。

銘衍海（常州）微電子可根據(jù)客戶需求，提供定制化服務(wù)

源頭工廠可定制粒徑、固含量、pH、粘度，精準匹配不同場景；切削壽命長、耗材成本低，實現(xiàn)進口拋光液國產(chǎn)替代，性價比優(yōu)勢顯著。

三、應(yīng)用領(lǐng)域

1. 光學(xué)玻璃與晶體

• 光學(xué)元件：鏡頭、棱鏡、濾光片、K9 玻璃、硼硅玻璃、熔融石英
• 晶體材料：YAG、鈦藍寶石、石英晶體、藍寶石（襯底 / 窗口）
• 光纖 / 連接器：端面拋光、低損耗

2. 半導(dǎo)體與微電子

• 晶圓平坦化：STI 淺槽隔離、ILD 層間介質(zhì)、3D NAND
• 光掩模 / 光刻板：石英掩模無損傷精拋
• 化合物半導(dǎo)體：SiC、GaN、藍寶石襯底

3. 顯示與觸控面板

• LCD/OLED 玻璃基板、TFT 面板
• 手機 / 平板蓋板玻璃、觸控屏：去劃痕、高光澤

4. 汽車與工業(yè)玻璃

• 汽車擋風(fēng)玻璃：去劃痕、去油膜、修復(fù)
• 建筑 / 幕墻玻璃、儀表玻璃、光學(xué)視窗

5. 精密陶瓷與硬脆材料

• 結(jié)構(gòu)陶瓷、透明陶瓷、精密軸承、切割刀片

四、使用建議

1. 稀釋：原液使用或去離子水 1:1–1:3 稀釋，攪拌均勻。
2. 拋光墊：推薦聚氨酯墊或麂皮墊（精拋）。
3. 工藝參數(shù)：壓力 0.1–0.3 MPa，轉(zhuǎn)速 800–1500 rpm。
4. 后處理：拋后立即清水沖洗，必要時搭配中性清洗劑。
5. 儲存：密封、避光、常溫（5–35℃）儲存，避免高溫與陽光直射。

五、注意事項

• 操作時佩戴手套、防護眼鏡，避免直接接觸皮膚與眼睛；不慎接觸立即用大量清水沖洗 15 分鐘以上，必要時就醫(yī)。
• 禁止與強酸、強堿、易燃易爆物品混合存放，防止化學(xué)反應(yīng)。
• 開封后少量分層，攪拌均勻即可正常使用，不影響性能。
• 保質(zhì)期 6 個月（密封常溫儲存），過期按環(huán)保標(biāo)準妥善處理。
• 車間保持良好通風(fēng)，使用時勿進食、吸煙，避免兒童接觸。
• 廢棄拋光液勿直接排放，需符合當(dāng)?shù)丨h(huán)保標(biāo)準處理。