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日本FUJIKIN富士金氣動隔膜閥FPR-NDTB-71-6.35-6-CNH

日本FUJIKIN富士金氣動隔膜閥FPR-NDTB-71-6.35-6-CNH

日本FUJIKIN富士金氣動隔膜閥FPR-NDTB-71-6.35-6-CNH

富士金氣動隔膜閥 FPR-NDTB-71-6.35-6-CNH
關鍵特性
全金屬隔膜結構：采用 SUS316L 不銹鋼隔膜，減少非金屬元件顆粒脫落風險，滿足超高純度流體控制需求。
金屬對金屬密封：通過 UJR 金屬墊片式連接（兼容 VCR 標準），實現零泄漏密封，支持重復拆裝。
氣動驅動：單作用常閉型（NC），依賴 0.4~0.6 MPa 氣源驅動，適合自動化系統集成。
耐腐蝕與耐溫性：工作溫度范圍 -10℃~+80℃，工作壓力 1.0 MPa（G），適配強腐蝕性介質。
表面處理：經過 EP 電解拋光處理，表面粗糙度 Ra ≤ 0.25 μm，滿足半導體級潔凈標準。
技術參數與規格
型號 FPR-NDTB-71-6.35-6-CNH
連接尺寸 6.35 mm（1/4 英寸）
閥體材質 SUS316L 不銹鋼
隔膜材質 SUS316L 不銹鋼金屬隔膜
連接方式 UJR 金屬墊片式（VCR 兼容）
驅動方式 氣動單作用（常閉 NC）
工作壓力 1.0 MPa（G）
工作溫度 -10℃~+80℃
適用介質 高純氣體（如 SiH?、NF?、HCl）、強腐蝕性液體
表面處理 EP 電解拋光（Ra ≤ 0.25 μm）
循環壽命 400 萬次以上（φ6.35 口徑）
應用場景
半導體制造
用于特氣柜（Gas Box）、CVD/PVD 設備供氣單元、蝕刻機臺化學品管路等關鍵工藝環節，確保氣體純度與系統密封性。
光伏產業
適配硅烷（SiH?）、氮化物（NF?）等高純氣體的輸送系統，防止污染導致的電池片效率下降。
特種氣體輸送
適用于有毒、易燃氣體（如 HCl、Cl?）的截斷控制，保障系統**性。

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