| 德國Polyte激光測(cè)振計(jì)MSA-600 |
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德國Polytec掃描儀、激光測(cè)振儀、光學(xué)頭、光學(xué)振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng) 負(fù)責(zé)人:吳經(jīng)理 132.4667.5433
型號(hào): MSA-600-M (標(biāo)準(zhǔn)) MSA-600-V (帶寬擴(kuò)展) 簡介: 表面形貌、動(dòng)態(tài)運(yùn)動(dòng)分析及可視化是MEMS器件等微型結(jié)構(gòu)的測(cè)試和研發(fā)的關(guān)鍵,這對(duì)于驗(yàn)證有限元算法、確定串?dāng)_效應(yīng)和測(cè)量表面形變是必不可少的。 MSA-600是集面外振動(dòng)、面內(nèi)振動(dòng)、及表面形貌測(cè)量功能于一體的光學(xué)測(cè)量工作站。系統(tǒng)具有極高的靈活性和精度,以滿足顯微結(jié)構(gòu)未來的發(fā)展需要。顯微式激光測(cè)振儀可提供精確的三維動(dòng)態(tài)和靜態(tài)響應(yīng)數(shù)據(jù),在降低開發(fā)和制造成本的同時(shí)提高產(chǎn)品性能,從而縮短設(shè)計(jì)周期,簡化故障處理,提高產(chǎn)品產(chǎn)量。 典型應(yīng)用 · 微型結(jié)構(gòu)的面外振動(dòng),測(cè)量單點(diǎn)振動(dòng)或者兩點(diǎn)間的相對(duì)振動(dòng) 如:梳齒驅(qū)動(dòng)器、射頻MEMS開關(guān)、FEM有限元模型驗(yàn)證、CMUT、PMUT超聲換能器、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等 · 微型結(jié)構(gòu)的面內(nèi)振動(dòng) 如:梳齒驅(qū)動(dòng)器、MEMS扭轉(zhuǎn)激振器、壓電陶瓷制動(dòng)器的橫向運(yùn)動(dòng) · 微型結(jié)構(gòu)的表面形貌 如:梳齒驅(qū)動(dòng)器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌 產(chǎn)品亮點(diǎn): · 集多功能于一體的光學(xué)測(cè)量工作站 · 真正的實(shí)時(shí)測(cè)量,無需數(shù)據(jù)后處理 · 的亞pm位移分辨率 · 測(cè)量速度快,振型可視化顯示 · 操作界面直觀友好 · 全自動(dòng)化測(cè)量,易于集成至商用探針臺(tái)上 【MSA-600系統(tǒng)配置】 基本配置: 面外振動(dòng)頻率為2.5 MHz 選配件 頻率擴(kuò)展: 面外振動(dòng)頻率達(dá)25 MHz 差分測(cè)量: 面外振動(dòng)可進(jìn)行差分測(cè)量 面內(nèi)運(yùn)動(dòng)分析: 面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量 形貌測(cè)量: 表面形貌測(cè)量 【面外振動(dòng)測(cè)量】 測(cè)量原理 激光多普勒原理 型號(hào): MSA-600-M (標(biāo)準(zhǔn)) MSA-600-V (帶寬擴(kuò)展) 最大頻率: 2.5 MHz 25 MHz 檔位數(shù)量: 13 個(gè)速度檔位 13 個(gè)速度檔位 最大振動(dòng)速度: 0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關(guān) 0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關(guān) 速度分辨率均值1:0.005(μm/s)/√Hz … 1 (μm/ s)/√Hz,與檔位和頻率有關(guān) 位移分辨率 50 fm/√Hz 50 fm/√Hz 【面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量】 測(cè)量原理 頻閃法 型號(hào) MSA-600 帶面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量模塊 帶寬 1 Hz … 2.5 MHz max速度 > 0.1 m/s … 10 m/s(與鏡頭放大倍數(shù)有關(guān)) 鏡頭放大倍數(shù)2 1x … 100x 位移分辨率3 5 nm 時(shí)間分辨率 100 ns (頻閃曝光時(shí)間); 頻閃最大間隔時(shí)間 ±40 ns 系統(tǒng)輸出 位移量、波特圖、階躍響應(yīng)、衰減曲線、軌跡圖等 【光學(xué)部分技術(shù)參數(shù)】 MSA-I-600 光學(xué)頭 激光波長 532 nm 激光安全等級(jí) class 3R (可見光輸出小于5 mW) 照明光源波長 470 nm 照明光源安全等級(jí) class 2 LED 燈(可見光輸出小于20 mW) 攝像機(jī) 全場(chǎng)逐行掃描 攝像機(jī)分辨率 1732 x 1200 像素 攝像機(jī)幀速 56 fps ![]() 激光振動(dòng)計(jì) 激光多普勒測(cè)振儀、激光測(cè)振計(jì) (激光)多普勒振動(dòng)傳感器 非接觸式振動(dòng)傳感器/測(cè)量儀 光學(xué)振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng) 【一】單點(diǎn)式激光測(cè)振儀 CLV-2534-3激光測(cè)振儀 IVS-500 工業(yè)用激光測(cè)振儀 VFX-F-110激光測(cè)振儀 VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學(xué)頭 VibroGo便攜式激光測(cè)振儀 【二】全場(chǎng)掃描式激光測(cè)振儀 VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場(chǎng)掃描式激光測(cè)振儀 PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測(cè)振儀 PSV QTec超低噪聲掃描式激光測(cè)振儀 ROBOVIB 機(jī)器人測(cè)振站 PSV-500-3D 掃描式激光測(cè)振儀 PSV-500 掃描式激光測(cè)振儀 MPV-800 多點(diǎn)式激光測(cè)振儀 【三】特殊應(yīng)用激光測(cè)振儀 VibroFlex Range 超遠(yuǎn)距離激光測(cè)振儀 RLV-5500 旋轉(zhuǎn)式激光測(cè)振儀 HSV-100 高速型激光測(cè)振儀 IPV-100 面內(nèi)激光測(cè)振儀 【四】顯微式激光測(cè)振儀 MSA-650 IRIS顯微式激光測(cè)振儀 MSA-600 顯微式激光測(cè)振儀 MSA-100-3D顯微式測(cè)振儀 MSA-050顯微式激光測(cè)振儀 【五】形貌測(cè)量儀 Pro.Surf大視場(chǎng)3D輪廓儀 Micro.View白光干涉儀 關(guān)于 Polytec(德國Polytec GmbH) 已停產(chǎn)的型號(hào),該公司主要生產(chǎn)激光測(cè)振儀、光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)、傳感器和工業(yè)測(cè)量設(shè)備 。以下是部分已知的已停產(chǎn)或舊型號(hào)(具體停產(chǎn)時(shí)間可能因產(chǎn)品線更新而異): 【1. 激光測(cè)振儀(Laser Vibrometers)】 OFV-5000系列 (早期型號(hào),已被OFV-5500/OFV-6000替代) OFV-3000系列 (較老版本) RSV-150 (遠(yuǎn)程振動(dòng)傳感系統(tǒng),部分功能由新系統(tǒng)替代) 【2. 工業(yè)傳感器(Industrial Sensors)】 ILD 1400/1700 (舊版激光位移傳感器) ILD 2200 (早期型號(hào),后續(xù)被ILD 2300等替代) OADM 12/I (舊版光學(xué)距離傳感器) 【3. 其他光學(xué)系統(tǒng)】 PSV-300/400 (掃描式激光測(cè)振儀,已被PSV-500系列取代) VibroFlex (某些舊型號(hào)) ![]() |
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