| 半導(dǎo)體晶圓表面潔凈度檢測儀 |
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LAPC-OPC表面粒子計(jì)數(shù)器
· 符合T/CAMDI 009.1-2020 ,ISO 21501-4-9 ,T/CAMDI 009.1-2020, IEST-STD-CC1246D和21 CFR-Part11標(biāo)準(zhǔn)
特點(diǎn): LAPC-OPC表面塵埃粒子計(jì)數(shù)器通過氣流方式將附著在表面的顆粒重新進(jìn)行懸浮, 通過采 集懸浮顆粒,使用基于激光光學(xué)傳感器和光散射原理, 獲取懸浮粒子的散射光信號, 進(jìn)行計(jì)數(shù)顯示 。 主要用于半導(dǎo)體晶圓表面、光學(xué)元件、集成電路板等生產(chǎn)環(huán)境檢測。為半導(dǎo)體制程工藝提供數(shù)據(jù) , 提高良品率與可靠性。
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