| HMDS預(yù)處理真空烘箱 |
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價格: 元(人民幣) | 產(chǎn)地:江蘇昆山市 |
| 最少起訂量:1臺 | 發(fā)貨地:本地至全國 | |
| 上架時間:2025-08-29 09:53:48 | 瀏覽量:316 | |
蘇州伊諾華科工業(yè)設(shè)備有限公司
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| 經(jīng)營模式: | 公司類型: | |
| 所屬行業(yè):干燥箱/干燥柜 | 主要客戶: | |
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| 聯(lián)系人:郭春江 (先生) | 手機:13390895528 |
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HMDS烘箱,晶圓涂膜HMDS真空烘箱系列電腦式HMDS真空烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前預(yù)處理,增黏劑HMDS涂覆作業(yè)。本設(shè)備適用于在涂膠前對晶片進行預(yù)處理,集真空、烘烤、充氮、潔凈、HMDS加液多功能與一體。設(shè)備由箱體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統(tǒng)組成。通過多次預(yù)抽真空,充氮加熱循環(huán)進行,既能達到使硅片表面干燥、潔凈的效果,又能夠防止硅片的氧化和雜質(zhì)的擴散,并且可以通過加液系統(tǒng)在硅片表面開成HDMS保護膜,從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比,具有重復(fù)性好,節(jié)省藥液,環(huán)保,對人體無害的顯著優(yōu)點;也可用于晶片其它工藝的清洗。
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