UXG/LG方型真空門閥，北澤閥門、開滋閥門，KITZ SCT?
UXG / LG方型真空門閥
“UXG，LG”系列是為隔開半導體真空裝置的反應爐與傳遞室而開發的方型門閥。閥體為鋁制，使用復動式空氣執行機構驅動。帶加熱器規格閥門的特 點是可以從外部和內部雙向進行加熱，均熱性能高，除了使用固定閥體內置
的外部加熱器進行加熱外，可以活動的閥體內部也設有加熱器。閥身和閥體可以設定為 180℃以下的任意溫度。
主要特點：
1.可以高溫加熱，減少積臟和密封圈黏著，大幅延長維修周期。
2.閥身加熱器和閥體加熱器的通道彼此獨立，可以分別設定內部和外部溫度。
3.具有在開閉閥門時不易產生顆粒的無摩擦結構。
4.備有在發生驅動用空氣斷開等緊急情況時保持閥門關閉的閂鎖機構。
5.根據流體溫度以及對流體的適用性，閘門的 O 型圈材質備有氟橡膠、KALREZ? *1、Chemraz? *2 等。
北京信源天恒科技有限公司代理日本本多（HONDA）及開滋/北澤（KITZ
SCT）全線產品。
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