超純水處理設備，采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。
超純水處理設備又稱超純水機，超純水設備，超純水儀，超純水系統，實驗室超純水器等。
隨著科學技術的不斷進步，我國藥典對YY用水的法定制備方法進行了重新定義。因其使用的范圍不同而分為純化水、注射用水及滅菌注射用水，首次將過去的蒸餾水改為純化水，并且對純化水具體定義為“純化水為采用蒸餾法、離子交換法、反滲透法或其它適宜的方法制得供藥用的水”。
超純水設備工藝技術與傳統的蒸餾法相比較，超純水設備用反滲透法為基礎再聯合了zui新電去離子(EDI)技術的新工藝具有明顯的優越性和X進性。
1.節能。主要有多級蒸餾、高壓分級蒸餾和離心凈化蒸餾幾種工藝。所有蒸餾方法均在120°C高溫狀態下進行，所以可以得到完全無菌的水。因此，運行當中能源的消耗相當大;同時因為溫度較高，所有設備組成部分必須耐受高溫沖擊，設備的造價及維護費用高昂。反滲透技術結合臭氧消毒方法，整個系統工作于常溫、低壓狀態，設備投資省，運行維護費用低，可靠節能：膜處理法的運行成本僅為蒸餾方法的12-15%，非常經濟，極具競爭力。
2.穩定可靠。隨著工業化進程的不斷加快，大量而成份復雜的廢物排放使世界范圍的污染變得日益嚴重，其中水資源的污染較之以往更加嚴峻。易揮發有機污染物因其沸點大都低于水的汽化溫度，如不加處理，蒸餾過程中極易進入產成水中，單純蒸餾方法無法將其有效去除，必須倚重活性碳吸附等過濾辦法，增加了系統和水質的不穩定性。膜法工藝采用多介質過濾器進行預處理;反滲透膜的微孔透過式工作原理保證了去除水體中所有較大的離子、分子，可以輕松去除分子直徑更大的易揮發有機污染物質，從根本上保證有機物指標達到藥典規定指標。
預處理系統通常包括石英砂過濾器，活性炭過濾器，必要時還可以采用軟化器，各設備能夠自動進行臭氧水反沖洗，自動排放;輔助設備有自動加藥系統，臭氧發生投加系統。其主要功能：保證在不同的進水情況，使得二級RO系統獲得一個穩定、合格的的進水水質。
超純水,是一般純水設備很難達到的程度，通常采用預處理、反滲透技術、超純水處理設備以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換（拋光）、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達18.25MΩ*cm。
超純水處理設備的工藝流程大致分成以下幾種
1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點
3、采用反滲透水處理設備與電去離子（EDI）設備進行搭配的的方式，這是一種制取超純水的zui新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置緊密過濾器→用水點 三種制備工業用超純水的工藝比較目前制備電子工業用超純水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來。
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