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產(chǎn)品詳情

商品描述

在線出售光馳OTFC-1550真空鍍膜機 光學鍍膜機 玻璃鍍膜機

產(chǎn)品名:OTFC-1550DBI 型式:1500DBI

原裝高配OTFC-1550光馳機(年份:2015. 11

日本電子16P雙槍，23 寸光馳RF離子源

275機械泵+愛德華配套羅茨泵

HOM2R-VIS350A光學膜厚監(jiān)控儀

XTC/3+6點式水晶傳感器

1.產(chǎn)品參數(shù):

真空室中1550 X 1800mm(H)

工件架φ1400mm工件架轉(zhuǎn)速10rpm to 30rpm (可變)

光學膜厚控制HOM2- R-VIS350A

波長范圍:350nm to 1100nm 光學膜厚監(jiān)控儀反射式/透射式

水晶式膜厚計XTC/3+6點式水晶傳感器

蒸發(fā)源電子槍2套

離子源17cmRF 離子源

機械泵:排氣系統(tǒng)2個擴散泵Polycold(或2 個冷凝泵)

1. 2. 性能:達到壓力7.0x10-5Pa以下排氣時間20分 (大氣壓,1.3X10- 3Pa)基板溫度高:350

2. 3. 設(shè)備尺寸:約5500mn(W) X 7200mm()X3700mm(H) 3相, 200v, 50/60Hz,

3. 4. 電源約120KVA 水流量180 升/分以上 空氣壓力0. 5MPa以上

4. 5. 重量約11000kg

5. 1、中空負極等離子噴涂基本原理
   在底端真空泵為高真空的情形下，氬氣瓶(1-10-2)從負極引進，在負極與輔助陽極中間提升引弧工作電壓，使氬氣瓶發(fā)亮充放電，在中空負極造成低電壓等離子充放電，負極溫度上升到2300-2400K從冷陰極充放電到熱陰極放電，逐漸熱電子發(fā)送，充放電到平衡狀態(tài)。進到反映汽體，可做成結(jié)合膜。
   二、測控技術(shù)磁控濺射原理
   將真空系統(tǒng)預抽至10-3Pa，隨后進到汽體(比如氬氣瓶)，標準氣壓為1-10Pa在這個過程中，向總體目標加上負電壓以造成電弧放電。當電子器件在電磁場的積極意義下加快奔向硅片時，它和氬分子相撞，并水解Ar和另一個電子器件；躍遷總體目標原材料，越來越多二次電子電離，持續(xù)躍遷總體目標原材料；電磁場根據(jù)磁場更改電子的運動方位，限制和增加電子的運動運動軌跡，進而提升價電子工作中氣體水解幾率。
   三、多弧離子鍍工作原理
   其原理是冷陰極配建電弧光放電，其物理基礎(chǔ)是當場發(fā)送。當電鍍材料傳送到負極，真空系統(tǒng)傳送到陽極氧化，真空系統(tǒng)提取到高真空時，開啟電級驅(qū)動器并開啟觸碰。這時，陰極和陽極中間產(chǎn)生相對穩(wěn)定的電弧放電，負極表層充斥著迅速擺動的負極點，一些正離子對陰極點躍遷使之變成點蒸發(fā)源，多弧離子鍍層以好幾個電孤蒸發(fā)源為基礎(chǔ)。
   四、電阻器蒸發(fā)鍍膜機
   薄膜材料被放置于揮發(fā)船中，放置于真空系統(tǒng)中。當獲取到一定的真空泵時，薄膜材料根據(jù)電阻器開展加溫，使之揮發(fā)。當揮發(fā)分子的均值可玩性超過蒸發(fā)源到底材的線形規(guī)格時，原子和分子從蒸發(fā)源中逸出，抵達底材產(chǎn)生膜。為了能讓薄膜厚度勻稱，可以用電機驅(qū)動器底材轉(zhuǎn)動，并用薄膜厚度計操縱薄膜厚度，設(shè)計出高質(zhì)量塑料薄膜。
   五，E原理
   負極鎢絲加熱發(fā)送0.3EV在鎢絲陰極和陽極間的靜電場影響下，原始機械能的熱電子加快并匯聚成束。在磁鐵線圈的磁場中，離子束沿ExB電子能量根據(jù)負極偏移到10KV，根據(jù)陽極氧化電子器件偏移270夾角陽極氧化電子器件偏移270夾角，躍遷膜材使之揮發(fā)。
   六，PVD鍍晶原理
   將電鍍工藝零件放到低電壓光充放電的負極上，引進適度氣體，在一定條件下，根據(jù)化學變化與直流濺射結(jié)合的全過程，在工件表面得到鍍層。