| 福潤德微控擴散爐 |
 |
價格：1 元(人民幣) | 產地：山東青島市 |
| 最少起訂量：1臺 | 發貨地：山東青島市 | |
| 上架時間：2024-10-24 08:14:48 | 瀏覽量：53 | |
青島福潤德微電子設備有限公司
 |
||
| 經營模式：生產加工 | 公司類型：私營有限責任公司 | |
| 所屬行業：電子產品制造設備 | 主要客戶：企業 | |
 在線咨詢  |
||
| 聯系人:張琪 () | 手機:13606426381 |
電話: |
傳真: |
| 郵箱:510081121@163.com | 地址:青島市 |
|
擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業，對所加工硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。
主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統、控制系統、超凈化操作系統等組成。
選用工控機微控方式或者程控方式操作。 擴散爐技術指標： 可處理硅片尺寸：2—12英寸 外型形式：臥式1—4管結構 工作溫度：200℃—1300℃ 恒溫區長度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃ 單點溫度穩定性、重復性： ≤±1℃/24h 溫度斜變： 可控升溫速率15℃／min 可控降溫速率： 5℃／min 送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟 氣路系統：1—5路工藝氣體／管 氣體控制：全自動MFC 控制方式：工控機、觸摸屏 |
| 版權聲明：以上所展示的信息由會員自行提供，內容的真實性、準確性和合法性由發布會員負責。機電之家對此不承擔任何責任。 友情提醒：為規避購買風險，建議您在購買相關產品前務必確認供應商資質及產品質量。 |
