| 程控?cái)U(kuò)散爐 |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：山東青島市 |
| 最少起訂量：1臺(tái) | 發(fā)貨地：山東青島市 | |
| 上架時(shí)間：2024-10-14 08:31:17 | 瀏覽量：18 | |
青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司
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擴(kuò)散爐主要滿足半導(dǎo)體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè)，對(duì)所加工硅片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴(kuò)散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機(jī)微控方式或者程控方式操作。 擴(kuò)散爐技術(shù)指標(biāo)： 可處理硅片尺寸：2—12英寸 外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu) 工作溫度：200℃—1300℃ 恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃ 單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性： ≤±1℃/24h 溫度斜變： 可控升溫速率15℃／min 可控降溫速率： 5℃／min 送片裝置：全自動(dòng)懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟 氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管 氣體控制：全自動(dòng)MFC 控制方式：工控機(jī)、觸摸屏 |
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