| PPB級超高純半導(dǎo)體防腐專用PFA |
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價格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：上海浦東新區(qū) |
| 最少起訂量：1件 | 發(fā)貨地：上海浦東新區(qū) | |
| 上架時間：2024-05-21 13:17:41 | 瀏覽量：239 | |
上海雍昌環(huán)保科技有限公司
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| 經(jīng)營模式：生產(chǎn)加工 | 公司類型：私營有限責(zé)任公司 | |
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PPB級超高純半導(dǎo)體防腐專用PFA ，應(yīng)用石英石晶 圓花籃，半導(dǎo)體清洗槽，半導(dǎo)體設(shè)備 超高純度 接觸晶圓的防腐材料金 屬離子含量低于PPB級， 否則會污染晶圓 優(yōu)秀防腐性 需要有優(yōu)秀的耐酸堿性能， 抵御各類強(qiáng)酸強(qiáng)堿，防止 腐蝕造成金屬離子析出厚度及致密性 高厚度和致密性，保證 研磨液/清洗液不會滲透 進(jìn)入涂層接觸基體金屬 硬度及耐磨性 硬度及韌性保證部件可進(jìn) 行二次加工從而保證精度， 耐磨性保證了部件的壽命 且不能過硬劃傷晶圓 產(chǎn)品案例 8/12寸晶圓花籃由于強(qiáng)度 載重原因，部分無法使用 超高純注塑材料，改用超 高純氧化硅/氧化鋁陶瓷材 料，但表面容易劃傷晶圓， 且接觸酸容易造成花籃腐 蝕損壞 叉手在轉(zhuǎn)移晶圓的同時， 會造成晶圓劃傷，需要表 面進(jìn)行防護(hù)，同時材料需 要有防腐性保證飛濺的酸 堿不損壞轉(zhuǎn)運(yùn)臂 純度：PPB級 厚度：400-800?m 耐酸：氫氟酸+硝酸 硬度：4H |
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