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4軸圓柱坐標潔凈_防水式搬運機械手
4軸圓柱坐標潔凈_防水式搬運機械手 價格:  元(人民幣) 產地:本地
最少起訂量:1 發貨地:本地至全國
上架時間:2022-07-20 16:59:47 瀏覽量:159
深圳市衡鵬瑞和科技有限公司  
經營模式:貿易公司 公司類型:其他有限責任公司
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詳細介紹

4軸圓柱坐標潔凈_防水式搬運機械手



4軸圓柱坐標潔凈_防水式搬運機械手特點: 
防水4軸圓柱坐標型機械手STWCR4000系列(配備300 mm晶圓翻轉機構+邊緣夾持機構)
能夠在酸性,堿性霧氣環境下搬運半導體晶圓
機械手臂標準臂長:160 mm、200 mm
手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性
手臂關節部位防水結構使用V型密封圈
零件之間的結合面采用Viton材質的密封條
Z軸的防水結構可以使用蛇腹管
雙臂結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
配備動作監視器
控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓
晶圓固定方式: 真空吸附式,下托式,邊緣夾持式
可以針對搬運物體,客戶設備布局的實際情況提供手指




防水4軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數:
使用環境                 潔凈間內的大氣環境
手臂                       雙臂
到達距離                 315mm (手臂第3關節中心到達距離)
升降軸行程       300mm
可搬運質量              3kg (手臂第3關節處基準)


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