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遼寧ALICAT總經銷 ALICAT氣體質量流量控制器沈陽售后服務性能

• 可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見零件編號標簽）
• 可調比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
• 校準精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數+0.5%滿量程）
• 可重復性：0.5%滿量程
• 標準控制器響應時間常數：100ms（可利用PID調節功能調節）
• 預熱時間：70ms，達到完整精度

遼寧ALICAT總經銷 ALICAT氣體質量流量控制器沈陽售后服務工作條件

• 兼容氣體：空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣、一氧化二氮（可通過串行連接選擇氣體）；訂購時還可以選擇氦氣或氫氣校準（僅使用一種氣體）
• 工作溫度：0°C至+50°C
• 內部壓力（靜態）：對于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；對于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）
• STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）