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等離子有機廢氣凈化器釆用高壓發生器形成低溫等離子體，在平均能置約5eV的大量電子作用下，通過凈化器的苯、甲苯、H2S、CS2、SO，等有機廢氣分子轉化成各種活性粒子，與空氣中的02結合成H20、S、C02等低分子無害物質，使廢氣得到凈化。利用高能UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+氧氣→O-+O*{活性氧)O+O→O3(臭氧)，眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有立竿見彩的清除效果。惡臭氣體利用排風設備輸入到本凈化設備后，凈化設備運用高能UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。

催化劑(二氧化鈦)在受到紫外線光照射時生成化學活潑性很強的超氧化物陰離子自由基和氫氧自由基、攻擊有機物，達到降解有機物的作用。二氧化鈦屬于非溶出型材料，在徹底分解有機污染物和殺滅菌的同時，自身不分解、不溶出，光催化作用持久，并具有持久的殺茼、降解污染物效果。