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日本KOFLOC DF-200C數字質量流量控制器 高精度質量流量控制器
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價格:9800
元(人民幣) |
產地:日本 |
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最少起訂量:1臺 |
發貨地:本地至全國 |
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上架時間:2022-06-23 12:53:24 |
瀏覽量:1196 |
北京芯笙微納電子科技有限公司
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經營模式: |
公司類型:其他有限責任公司 |
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所屬行業:計量標準器具 |
主要客戶: |
在線咨詢  |
聯系方式
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聯系人:郭先生
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手機:13366893229 |
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傳真: |
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地址: |
詳細介紹
DF-200系列是一款高性能數字質量流量控制器,可在1秒(全范圍)內實現±1%SP的精度和響應。
此外,它兼容多氣體和多量程,可輕松更換包括參考氣體在內的7種氣體及其流量范圍,使其成為具有出色通用性的產品。
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高精度(±1%SP),高速響應(1秒內所有區域)
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支持多量程和多種氣體
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標準配備通訊功能(RS485)
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RoHS。符合CE標準
DF-200C標準規范
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傳感器方式
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熱繞組傳感器
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閥門方式
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比例電磁閥(未通電時關閉)
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目標氣體(* 1)
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多氣體:
N2(空氣,H2,He,Ar,O2,CO2)(* 2)
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流量范圍(* 3)
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10/30/50/100/300/500 SCCM,1/3/5/10 SLM(* 2)
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控制范圍
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2至100%(F.S.)
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反應能力(* 4)
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總流量控制范圍在1秒內(±2%F.S.)
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L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa
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精度(* 5)
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±1.0%SP(> 35%F。S.),
±0.35%F。S.(≦35%F。S.)
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再現性
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±0.25%FS
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工作壓差(* 6)
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50至300 kPa(Ar,CO2:100.300 kPa)
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入口壓力
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500kPa(G)
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耐壓
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980kPa(G)
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He泄漏率(* 7)
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1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下
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