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工藝冷卻水的應用范圍非常廣泛，涉及到工業生產中的各方面，包括半導體、微電子、工業制冷機、火電廠中汽輪機排氣冷凝、大型中央空 調、煤化工、石化廠、天然氣管道降溫等場所均有大量的工藝冷卻水使用。在許多產品或工藝生產環境都要求配備潔凈廠房，車間全年要求溫度和相對濕度保持在一定范圍，其中一些生產過程發熱量大，工藝設 備需要低溫水冷卻降溫，甚至在冬季仍然需要空調供冷，為了滿足這些要求，必須建造工藝冷卻水系統，工藝冷卻水系統分為開式系統和閉式 系統兩類。

1、工藝冷卻水系統組成及工作原理

工藝冷卻水系統由以下幾部分組成：冷水機組、泵、熱交換器、水箱、過濾器、工藝設備。

冷水機組：給冷卻水系統提供冷源。

水泵：對水加壓，保證其在冷卻系統中循環流動。

熱交換器：利用此設備使冷凍水系統與冷卻水系統產生熱交換，以將此系統負載端產生的熱量傳送給冷凍水系統。熱交換器種類繁多，按其形式可分管殼式、板式、板翅式、熱管式等。相比較而言，板式熱交換 器具有占地面積小，傳熱面積大的優點，考慮到半導體廠房空間面積造價特點，優選占地面積小的設備，節約用地面積，節省了工程造價。

水箱：開式系統中水箱主要起到補充水源作用。閉式系統中水箱需要選擇膨脹水箱，膨脹水箱有三個作用，一是收容和補償系統中水的脹縮量；二是向密閉式循環水系統提 供穩定的壓力，起到系統穩壓的作用；三是作為系統補水泵的指示，通常由膨脹水箱發出信號啟動或關閉系統補水泵。

過濾器：過濾掉水中的固體顆粒雜質，凈化水源。

工藝冷卻水系統中有冷凍水和冷卻水這兩個相對獨立的系統，冷凍水由冷水機組提供，冷凍水與冷卻水進行熱交換，使冷卻水降溫從而降低設備的溫度。從生產設備抽水經 水泵至熱交換器通過控制冷凍水的量來保證工藝冷卻水的水溫，通過過濾器后送至生產線設備，再回到水泵。構成工藝冷卻水反復循環。冷凍水則直接回冷水機組。

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