| 寶雞鈦靶材廠家供應各類鈦靶材各規格全牌號可定制 |
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價格：100 元(人民幣) | 產地：陜西寶雞市 |
| 最少起訂量：1件 | 發貨地：陜西寶雞市 | |
| 上架時間：2022-02-21 16:05:27 | 瀏覽量：739 | |
寶雞鈦盛隆鈦業有限公司
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| 經營模式：生產加工 | 公司類型：私營有限責任公司 | |
| 所屬行業：有色金屬 | 主要客戶：工業 | |
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| 聯系人:李亞峰 (先生) | 手機:18391758004 |
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鈦靶，鈦濺射靶；應用于裝飾和功能 鍍膜工業、平面顯示工業、光數據存儲工業 （光盤工業）光通訊工業、玻璃鍍膜（建筑 玻璃和汽車玻璃）工業等行業.純度是靶材的主要性能指標之，因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。靶材的主要性能要求:純度純度是靶材的主要性能指標之，因為靶材的純度對薄膜的性能影響很 純度 純度是靶材的主要性能指標之一，因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應用中，對靶材的純度要求也不盡相同。例如，隨著微電子行業的迅速發展，硅片尺寸由6", 8"發展到12", 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求，而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。 雜質含量 靶材固體中的雜質和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質含量的要求也不同。例如，半導體工業用的純鋁及鋁合金靶材，對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。 密度 為了減少靶材固體中的氣孔，提高濺射薄膜的性能，通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率，還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應力。密度也是靶材的關鍵性能指標之一。 晶粒尺寸及晶粒尺寸分布 通常靶材為多晶結構，晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材，晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。 |
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