| 半導體千級無塵凈化車間設計施工 |
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價格:960 元(人民幣) | 產地:廣東中山市 |
| 最少起訂量:1平方米 | 發貨地:廣東中山市 | |
| 上架時間:2021-10-11 15:09:38 | 瀏覽量:95 | |
中山市美藍潔凈科技有限公司
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| 經營模式:生產加工 | 公司類型:私營有限責任公司 | |
| 所屬行業:空氣凈化設備 | 主要客戶:可口可樂 東海堂 高露潔 聯邦制藥 斯坦雷電氣 中山人民醫院 愛博諾德 澳精生物科技 | |
在線咨詢 ![]() |
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| 聯系人:王偉杰 (先生) | 手機:18676194672 |
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| 郵箱:wangweijie1618@126.com | 地址:中山市神灣鎮光輝路10號 |
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半導體生產無塵車間設計施工/半導體工業潔凈室建設/半導體百級凈化施工/半導體千級凈化施工/半導體萬級凈化車間設計施工 中山市美藍潔凈科技生產的的空氣凈化產品及設備主要有:風淋室,貨淋室,初效過濾器,中效過濾器,高效過濾器、超凈工作臺,潔凈工作臺,傳遞窗,風淋室配件,風淋室控制器,化學過濾器,FFU風機過濾單元,空氣自凈器,潔凈棚,新風柜,過濾柜,通風柜,洗手池,潔凈采樣車,高風效送口等等潔凈室及配套用凈化產品等。無塵車間凈化設備廣泛應用于電子、半導體、生物制藥、食品加工、核工業、汽車制造業,空調暖通業行業和領域等。 半導體凈化車間設計的設計范圍包括:裝修方案(圍護、地面防水保溫處理),暖通方案(空調設備、風管、水管等),特氣供應方案(特氣柜含保險控制、房間氣體監測、EP級管道及BA級管道、供氣管路尾氣處理),壓縮空氣方案,廢氣處理方案(儀器設備POU處理、房間排風廢氣處理),電氣方案(空調設備動力配電等),弱電工程,集成控制智能平臺,純水方案(冷卻水、去離子水、超純水、水管等),廢水處理。
一、結構圍護工程 墻板及吊頂:本工程隔墻采用企口型機制玻鎂巖棉夾芯板0.426,玻鎂巖棉彩鋼板符合潔凈廠房二級消防要求,玻鎂巖棉彩鋼夾芯板具有1000℃的耐火性能,耐火等級達到A級。巖棉密度:≥1000kg/m?;導熱系數:≤0.046w/m.k;燃燒性能:A級(不燃)。耐火極限為30~120分鐘。廣泛應用于食品、電子、醫yao、飲料、生物研究等行業。 地板:車間內采用防靜電型PVC地板,其中千級和百級車間采用防靜電型架高鋼板,其它為普通型PVC地板。PVC地板是當今世界上非常流行的一種新型輕體地面裝飾材料,也稱為“輕體地材”使用非常廣泛,比如家庭、醫院、學校、辦公樓、工廠、公共場所、超市、商業等各種場所。 二、暖通工程 設備:空調制冷負荷:經統計計算,總冷負荷約500KW。采用恒溫恒濕潔凈空調,夏季采用磁懸浮水冷機組,冬季采用廠區鍋爐熱水供熱。 風管:風管采用共板法蘭風管。 水管:空調水管采用無縫鋼管。水泵采用星-三角降壓啟動。 三、特種氣體工程 工藝氣體種類多,純度高,并且易燃易爆有毒。安全問題突出,為保證系統的安全和穩定可靠,建議采用進口成熟產品。 因為 MOCVD 生長使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物質,并且要生長多組分、大面積、薄層和超薄層異質材料,因此在MOCVD 系統的設計思想上,通常要考慮系統密封性要好,流量、溫度控制要精確,組分變換要迅速,系統要緊湊等。核心工作是氣體輸運系統和尾氣處理系統。 四、空壓氣體工程 螺桿式空壓機組主要主要有以下系統組成:空氣流程系統、潤滑油流程系統、冷卻系統、安全保護系統、控制系統及電氣線路。螺桿式空壓機組主要有壓縮機、電動機、空氣濾清器、進氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開關、單向閥、儲氣罐、壓力表、自動排水器、安全閥等設備部件。另外在空壓機系統中大多配置冷干機和空氣干燥器。 五、廢氣工程 由于半導體工藝對操作室清潔度要求極高,通常使用風機抽取工藝過程中揮發的各類廢氣,因此半導體行業廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發為主。表中給出了不同生產工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類:酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體。 生產廢氣排放源及組成表 廢氣來源組成外延工序SiH4、SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、AsH3、B2H6、PH3、HCl、H2清洗工序H2SO4、H2O2、HNO3、HCl、HF、H3PO4、NH4F、NH4OH 等光刻工序異丙醇、醋酸丁酯、甲苯、Cl2、BCl3、C2F6、C3F8、CF4、SF6、HF、HCl、NO、C3H8、HBr、H2S 等化學機械拋光NH4OH、NH4Cl、NH3、KOH、有機酸鹽化學氣相沉淀SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、SiF4、CF4、B2H6、PH3、NF3、HCl、HF、NH3擴散、離子注入BF3、AsH3、PH3、H2、SiH4、SiH2Cl2、BBr3、BCl3、B2H6金屬化工序SiH4、BCl3、AlCl3、TiCl4、WF6、TiF4、SiF4、AlF3、BF3、SF6等 對酸性氣體、堿性氣體的處理一般都采用濕式洗滌塔技術。 對于有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結合的處理方法。因為半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11039 m3/小時)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點,使用其它的處理技術難以達到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉輪后再吸附或焚燒。 以上即是美藍潔凈科技關于半導體凈化車間的設計方案部分工程分享,希望今天的分享對您有所幫助。在下一次的分享里,美藍潔凈科技將為您詳解電氣工程、弱電系統工程、智能平臺、純水工程及廢水處理工程。
一、中山美藍潔凈科技 產品種類 售后說明 中山市美藍潔凈科技有限公司是專業從事潔凈技術研究、凈化工程的設計、無塵車間施工、潔凈廠房建造的高技術企業。公司擁有十五年空氣凈化的專業經驗,建造的凈化工程主要應用于飲料食品、電子器械、生物制藥、航天航空、精密儀表、化妝品行業、科研教學等領域。 我們的服務流程: 1、結合國內外實驗室、無菌室、潔凈室、凈化車間的歷史、現狀及發展趨勢,專業化的設計理念; 2、各類實驗室、潔凈室、無塵室(恒溫恒濕和生物安全)相關環境評估分析; 初步設計: 1、勘察現場、了解現場環境特點; 2、領悟客戶的想法與要求,消化并加以分析; 3、有針對性地收集相關資料:包括相應的儀器設備、實驗室操作流程等; 4、確定設計風格,規劃整體平面布局,與客戶交流; 5、確定平面方案后進行整體的設計,彩色效果圖繪制、備注說明、文字方案、工程預算等。 施工方案: 1、確定整體設計方案; 2、對現場細部考察,了解客戶對材料品牌或其他方面的特殊要求; 3、深化圖紙:包括設計說明、文字方案、工程預算、平面圖、立面圖、部面圖、色彩效果圖、關鍵部位大樣圖、給排水、電氣、暖通等體與細節等達到按圖施工的標準; 4、確定方案后,輸出全套施工圖紙。 項目實施: 1、施工方案確認交底,組建項目部,進行施工前人、財、物的各項準備工作; 2、嚴格根據施工工藝、施工進度計劃施工,確保施工質量及進度,隱蔽工程要監理方驗收合格后,進入下一道工序施工。 3、加強客戶溝通,對項目變及時調整; 4、及時上報竣工資料,做好工程交接工作。 中山市美藍潔凈科技有限公司:承接:10-300000級凈化工程裝修與設計,層流手術室,負壓病房,GMP凈化工程、化妝品廠凈化工程、 QS食品廠凈化工程、電子廠凈化工程、 美藍潔凈科技主要生產凈化設備:風淋室、貨淋室、過濾器、傳遞窗、高效送風口、潔凈工作臺、生物安全柜、自凈器、新風柜、層流罩、實驗室家具、FFU過濾單元等
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