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100-30萬級無塵車間工程裝修方案設計、無塵車間工程裝修規劃、潔凈車間工程裝修方案設計、無菌車間工程裝修規劃、潔凈廠房工程裝修方案設計

電子工業潔凈室的設計

電子工業潔凈室的特點：

電子工業潔凈室的特點一是大，二是多變。幾千平方米、上萬平方米的面積并不少見。電子工業的技術更新快，工藝變了，平面布局就要跟著變，因此平面上不宜有固定的分隔，特別是很小的分隔。具體說，有以下一些獨特之處應加注意。

（1）平面由工藝決定，電子工業潔凈廠房的工藝布局應適應電子產品發展的靈活性，滿足產品生產工藝改造和擴大生產的需求。

（2） 主體結構宜采用大空間及大跨度柱網，不宜采用內墻承重體系。

（3）大型電子工業潔凈廠房常采用上技術夾層、下技術夾層這種“夾心”式多層構造。

（4）應考慮大型生產工藝設備的安裝、維修要求，設置必要的運輸通道和不影響潔凈生產環境的安裝口或檢修口。

（5）電子工業潔凈室按二級耐火等級設計。

（6）特種氣體的儲存和分配間應有耐火隔墻與潔凈室（區）分開，該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區至少三面是敞開的，氣瓶與周圍構筑物或圍欄之間的距離應大于3M，儲存區設置的雨篷應不低于3.5M。

（7）電子工業潔凈室的裝飾材料不得采用釋放對電子產品有影響物質的材料。

（8）電子工業潔凈室允許設空氣吹淋室，這是和一般生物潔凈室不同的。吹淋室應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按班人數為30人一間設計，當工作人員超過5人時，應設旁門，當人數太多或為了縮短通過時間，也可設遂道式吹淋室。

（9）對于高級別潔凈室，為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性，照明燈具采用凈化淚珠形燈具。

（10）電子工業潔凈室常要根據生產工藝要求設置防靜電環境，以便抑制靜電的產生，將已產生的靜電迅速、安全的排除。

（11）電子工業潔凈室友有對防微振的特殊要求，在廠地環境上應避開振動源。

（12）電子工業潔凈室除有一般給排水要求外，對超大規格集成電路的用水也有標準。

電子工業潔凈廠房設計規范  

批準部門

中華人民共和國住房和城鄉建設部  

目的： 

為在電子工業潔凈廠房設計中，做到技術先進、經濟適用、安全可靠、節約資源、降低能耗、確保質量，并符合勞動衛生和環境保護的要求，制定本規范。

適用范圍： 

本規范適用于新建、擴建和改建的電子工業潔凈廠房設計。

電子制造業廠潔凈室廠房特點:
潔凈度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規范受控，另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內極易產生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關溫濕度規定）。 這時可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業潔凈室的重要組成部分，由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。
●電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級（空態）：不應大于65dB(A)
●電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流  潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。
●電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa
● 電子制造行業萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的--值：
● 補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
● 保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
 電子制造行業潔凈室凈化空調系統加熱器，應設置新風，超溫斷電保護，若采用點加濕時應設置無水保護，寒冷地區，新風系統應設置防凍保護措施。無塵室的送風量，應取下面三項：
●保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量：
●根據熱，濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風量：

●向電子制造廠潔凈室內供給的新鮮空氣量：

電子工業潔凈室凈化原理

新鮮空氣→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌

等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復以上過程，即可達到凈化目的。

電子工業潔凈室凈化參數

換氣次數：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa

平均風速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動±2℃。

溫度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產生靜電。

噪聲≤65dB(A)；新風補充量是總送風量的10％－30％；照度300LX。

溫度45－65%；GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜；電子車間濕度略高以免產生靜電。

噪聲≤65dB（A）；新風補充量是總送風量的10%－30%；照度300Lx

凈化工程中空氣凈化處理方案

●凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初、中、高--效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞--高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。

●空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應符合:初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節系統的正壓段;高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節系統末端，高效空氣過濾的安裝方式應簡便可靠，宜檢漏和更換;中效、亞--高效、高--效空氣過濾器宜按額定風量選用;阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設置在同一凈化車間內。

●確定集中或分散式凈化空氣調節系統時，應綜合考慮生產工藝的特點和凈化車間空氣的潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產工藝連續、無塵室或凈化車間面積較大時，位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調節系統。

●凈化空氣調節系統如需電加熱時，應選用管狀電加熱器，位置應布置在高效空氣過濾器的上風側，并應有防火安全措施。

●送風機可按凈化空氣調節系統的總送風量和總阻力值進行選擇，中效、高效空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算。

●凈化工程中凈化空氣調節系統除直流式系統和設置值班風機的系統外，應采取防止室外污染空氣通過新風口參入凈化車間內的防灌倒措施。

●凈化空氣調節系統設計應合理利用回風，凡工藝過程產生大量有害物質且局部處理不能滿足衛生要求，或對其他工序有危害時，則不應用回風。

廣州市正一凈化科技有限公司：

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