| GDM300是具有雙拋光工位的全自動(dòng)晶圓研磨機(jī) |
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GDM300是具有雙拋光工位的全自動(dòng)晶圓研磨機(jī) 晶圓拋光GDM300全自動(dòng)晶圓研磨機(jī)特長(zhǎng): ·采用全自動(dòng)系統(tǒng),從后磨到貼裝的連續(xù)過程,可研磨至25um厚度。 ·2個(gè)磨頭階段,產(chǎn)量幾乎是1個(gè)磨頭系統(tǒng)的兩倍。 ·內(nèi)置修邊系統(tǒng)可作為薄型晶圓加工的選擇。 ·雙指標(biāo)體系,拋光階段和研磨階段完全分離,滿足TSV和MEMS工藝所需的清潔。 ·超亮度小于Ra1A,可超鏡面。 晶圓拋光GDM300全自動(dòng)晶圓研磨機(jī)相關(guān)產(chǎn)品: 衡鵬供應(yīng) 晶圓研磨/晶圓減薄/晶圓拋光/晶圓背拋/Wafer Grinding GNX200BP |
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