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Mitsubishi A1SJ71AT21B 什么是光開關？光開關是在一定范圍內將光信號從一個光通道轉換成另一個光通道的器件，具有一個或多個可選擇的傳輸窗口，是實現光交叉連接、 光分插復用、網絡監控以及自愈保護等功能的核心器件。

其實現技術多種多樣，包括：機械光開關、熱光開關、聲光開關、電光開關、磁光開關、液晶光開關和MEMS光開關等。傳統的以電為核心的開關逐漸的不能滿足高速大容量光通信的需求， 慢慢的市場上出現了全光開關。其中MEMS光開關具有尺寸小、功耗低和擴展性好的特點，因而得到廣泛的應用。

簡述MEMS光開關的工作原理

什么是MEMS？MEMS （Micro-Electro-Mechanical System）是指將微型機械、微型執行器、信號處理和控制電路等集于一體的可批量制作的微型器件或系統，微機械結構的制備工藝包括光刻、離子束刻蝕、化學腐蝕、晶片鍵合等，同時在機械結構上制備了電極，以便通過電子技術進行控制。MEMS是一種微電機系統，在制備微機械結構之后，需要以電子技術進行驅動。典型的驅動機制包括靜電引力、電磁力、電致伸縮和熱電偶。在MEMS器件的所有驅動機制中，靜電引力結構因制備簡單、易于控制和低功耗，得到最廣泛的應用。

MEMS光開關是在硅晶上刻出若干微小的鏡片，通過靜電力或電磁力的作用，使微鏡陣列產生轉動，從而改變輸入光的傳播方向以實現光路通斷的功能。MEMS光開關切換光波路由是通過外部控制信息以及相應的高低電平控制內部微鏡片抬升與否來完成的。

一般說來，MEMS光開關從空間結構上可分成這樣兩種，即2D開關和3D開關。

(a) 2-D(b) 3-D Source: researchgate.net

2D MEMS的空間旋轉鏡通過表面微機械制造技術單片集成在硅基底上，準直光通過微鏡的旋轉控制被接到的輸出端。當微鏡為水平時，可使光束從該微鏡上面通過，當微鏡旋轉到與硅基底垂直時，它將反射入射到它表面的光束，從而使該光束從該微鏡對應的輸出端口輸出。在3D MEMS光開關中，微鏡能沿著兩個向的軸任意旋轉，因此它可以用不同的角度來改變光路的輸出，這些陣列通常是成對出現，輸入光線到達個陣列鏡面上被反射到第二個陣列的鏡面上，然后光線被反射到輸出端口。

MEMS光開關的結構

光開關是一種多端口光器件，端口配置情況有：2×2，1×N，N×N，其中N×N端口光開關又稱OXC（光交叉連接開關、矩陣光開關）。基于MEMS技術的1×N端口光開關，其結構如圖所示，它包括一個MEMS微鏡、一個準直透鏡和一個多纖插針。MEMS微鏡通常貼裝在一個TO管座上，然后通過TO管帽將準直透鏡與TO管座組裝成一個組件，最后在有源調試狀態下，將多纖插針與前述組件對準并固定在一起。

MEMS光開關與機械式光開關

機械光開關的工作原理是借助機械裝置物理地移動光纖來重定向光信號。通過移動棱鏡或定向耦合器，將輸入端的光導向所需要輸出的端口。機械式光開關分主要有3種類型：一是采用棱鏡切換光路技術，二是采用反射鏡切換技術，三是通過移動光纖切換光路。

Mitsubishi A1SJ71AT21B IPM06A CM902WX AC/DC存儲器后備電源組件
FBM201b P0922YH 8通道0-100mV輸入接口組件
FBM201c P0922YJ 8通道0-5V輸入接口組件
FBM201d P0922YK 8通道0-10V輸入接口組件
FBM202 P0926EQ 8通道熱電偶/毫伏輸入接口組件
FBM203 P0914SV 8通道0-320熱電阻輸入接口組件
FBM203b P0922UA 8通道0-640熱電阻輸入接口組件 
FBM203c P0922UD 8通道0-30熱電阻輸入接口組件 
FBM204 P0914SY 8通道0-20mA輸入輸出接口組件 
FBM205 P0914XG 冗余8通道0-20mA輸入/輸出接口組件
FBM206 P0916CQ 8通道脈沖輸入接口組件
FBM207 P0914TD 16通道電壓監視輸入接口組件(可選冗余)
FBM207b P0914WH 16通道24Vdc觸點輸入接口組件(可選冗余) 
FBM207c P0917GY 16通道48Vdc觸點輸入接口組件(可選冗余)
FBM208 P0914TB 4通道0-20mA輸入/4通道0-20mA輸出組件
FBM211 P0914TN 16通道0-20mA輸入接口組件 FBM212模塊
FBM213 P0914XL     14通道熱電偶輸入接口組件 FBM213模塊
FBM214 P0914XN     8通道熱電阻輸入接口組件 FBM214模塊
P0914XQ     8通道HART通訊輸入接口組件 
FBM215 P0922VU 8通道HART通訊輸出接口組件 
FBM216 P0922VV 冗余8通道0-20mA/HART輸入接口組件
FBM217 P0914TR 32通道離散量輸入接口組件(可選冗余)
FBM218 P0922VW 冗余8通道0-20mA/HART輸出接口組件 
FBM219 P0916RH 24通道電壓監視輸入,8通道離散量輸出接口組件
FBM220 P0917HA 1通道H1 FOUNDATION 現場總線接口組件
FBM221 P0917HB 4通道H1 FOUNDATION 現場總線接口組件
FBM223 P0917HD 2通道PROFIBUS-DP 現場總線接口組件 
FBM224 P0926GG 4口RS-232、RS-422或RS-485與Modbus組件
FBM237 P0914XS 冗余8通道0-20mA輸入接口組件
FBM241 P0914TG 8通道電壓監視輸入,8通道離散量輸出(外部源)     
FBM241b P0914WK 8通道電壓監視輸入,8通道離散量輸出(內部源)
FBM241c P0914WM 8通道觸點輸入，8通道離散量輸出（外部源）組件
FBM241d P0914WP 8通道觸點輸入，8通道離散量輸出（內部源）組件
FBM240 P0917GZ 冗余輸出接口組件
FBM242 P0916TA 16通道離散量輸出（外部源）接口組件（可選冗余）

Mitsubishi A1SJ71AT21B ABB Procontic 07CS61
ABB Procontic 07DC91
ABB Procontic 07DS85
ABB Procontic 07EA200
ABB Procontic 07EA60R1
ABB Procontic 07EA61R1
ABB Procontic 07EA62R1
ABB Procontic 07EA65R1
ABB Procontic 07EA80
ABB Procontic 07EA90-S
ABB Procontic 07EB200
ABB Procontic 07EB61R1
ABB Procontic 07EB62 R1
ABB Procontic 07EB90-S
ABB Procontic 07EI60
ABB Procontic 07ET83A
ABB Procontic 07GS40R1
ABB Procontic 07KP60R101
ABB Procontic 07KP62
ABB Procontic 07KP64
ABB Procontic 07KP93
ABB Procontic 07KR228
ABB Procontic 07KR240R1
ABB Procontic 07KR264dR1
ABB Procontic 07KT228
ABB Procontic 07KT240DR1
ABB Procontic 07KT31
ABB Procontic 07KT60R101
ABB Procontic 07MK62
ABB Procontic 07NG60R1
ABB Procontic 07NG61R1
ABB Procontic 07NG61R2
ABB Procontic 07NG63R1
ABB Procontic 07NG63R2
ABB Procontic 07NG66R1
ABB Procontic 07NG66R2
ABB Procontic 07NG68R1
ABB Procontic 07NG81
ABB Procontic 07NG82
ABB Procontic 07PA85
ABB Procontic 07PG200R1
ABB Procontic 07PG201
ABB Procontic 07PG85
ABB Procontic 07PR62R1
ABB Procontic 07PR62R2
ABB Procontic 07PS60R1
ABB Procontic 07PS61R1
ABB Procontic 07PS62R1
ABB Procontic 07PS62R2
ABB Procontic 07PS62R3
ABB Procontic 07PS63R2
ABB Procontic 07PS63R3
ABB Procontic 07PS85
ABB Procontic 07PT40b
ABB Procontic 07SA93
ABB Procontic 07SK90R1
ABB Procontic 07SV60R1
ABB Procontic 07TA60
ABB Procontic 07TI80
ABB Procontic 07TR85
ABB Procontic 07WP84R302
ABB Procontic 07XS80
ABB Procontic 07YS80