單晶爐是一單晶爐是一種在惰性氣體（氮氣、氦氣為主）環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化。用直拉法生長無錯位單晶的設備。單晶爐對溫度又有及其嚴格的溫度要求。例如：爐體加工溫度，如果爐體溫度得不到有效的控制，爐體因溫度過高會產生形變。勢必影響設備尺寸變化，造成不合格產品的出現；同時爐體材料長期高溫工作，冷熱不均會降低爐體壽命，造成損失。
這就需要專業穩定的冷卻水系統，來滿足單晶爐的降溫冷卻需求，才能維持爐體設備正常工作，不至于發生因爐體設備溫度過高，造成設備變形，影響硅晶體的生長。
單晶爐用冷水機制冷方案中包括兩大控制系統，即工藝冷卻水控制系統和冷媒控制系統。
工藝冷卻水控制系統可為單晶爐爐體及加熱電極、真空泵降溫冷卻，由冷水機組、工藝水池、冷卻水泵、冷卻管路及熱交換器組成。
單晶爐用冷水機溫度范圍可降低到20-25度，機組將冷卻水從循環水泵輸送到工藝冷卻水池，再由水泵輸送進冷卻通路為爐體發熱部件循環降溫，可實現不同負荷下的制冷模式，最大化穩定工藝冷水控制系統。
單晶爐用冷水機在冷媒控制系統中，冷水機內部氣態冷媒由壓縮機壓縮，進入冷凝器液化，再由膨脹閥裝置變成低溫氣液混相，在蒸發器內，實現與工藝冷卻水系統熱交換器換熱，達到工藝水池的需求溫度。冷媒控制系統中，因單晶爐工藝水池特殊水質要求，采用全不銹鋼蒸發器要求，避免因水質問題污染工藝水池的冷卻水，給單晶爐冷卻造成不利影響。
單晶爐用冷水機在整個冷卻水系統設計中，冷水機組電控系統使用德國西門子PC／PLC可編程控制器，由人機界面觸摸操作，實時觀察系統運行的參數，并且可簡單直觀輸入各種初始參數，例如工藝冷卻溫度上下限報警值、水位上限限值、出水溫度上下限值、冷卻水壓力上下限值等。
值得一提的是，因單晶爐對水質、水壓及流速的特殊要求，方案中采用50M高揚程水泵，保證穩定充足的冷卻水供應工藝冷卻水系統.
避免冷卻水供應不及時造成爐體加熱器跳閘、中止單晶爐正常運轉，而造成劣等晶體的產生，爐體內部因冷卻不到位發生形變等危害人身及設備安全。
單晶爐用冷水機產品特點
循環水箱：儲冷水箱通過制冷水泵及管道與循環水箱相連。循環水箱由不銹鋼制成，它由溫度傳感器、液位傳器等組成。循環水箱通過溫度傳感器探測內部的變化，上傳至溫度控制器，由溫度控制器通過變頻器控 制制冷水泵流量的大小，來控制循環水箱的溫度。
控溫系統：控溫系統用于各個溫度控制點的溫度，控溫系統采用PT100鎧裝溫度傳感器進行溫度數據采集，并采用PLC控制器作為溫度控制器，
單晶爐用冷水機控制器： 控制器用于狀態感知、設置運行參數、開停、控制聯動、控制輔助設備等功能，包括液位傳感器。由控制器實現兩種工作模式的切換。
系統穩定可靠：核心部件選用國際知名品牌，可靠性高、噪音低，24小時連續運轉設計。
先進控制技術：采用微電腦版控制器，實現全自動智能化控制，系統水溫，水流，故障信號報警直接顯示，多種精度可以選擇±0.5℃等）
單晶爐用冷水機多重安全防護：超溫保護 、電流保護、水流報警、水位報警、壓力報警、缺項保護、逆相保護、電機過載等。
電腦觸摸式控制，操作簡單易懂。
日本進口微電腦雙組P.I.D溫度控制表，觸摸式內儲、自動演算，省電35以上。
安全保護及故障指示系統完善。
進口 組件，使用年限長。
單晶爐用冷水機升降溫速度快，溫度精確穩定。
獨特的雙功率加熱設計，適合不同溫控場所使用，節能效果明顯。
不銹鋼一體成型，管損小，加熱均勻。
開機自動排氣功能。
模具回水溫度檢測表。
可接受客戶非標制作，儀器尺寸、流量、溫控精度，壓力等，可選配RS485（CAN或以太網）通訊接口并提供通訊協議
單晶爐用冷水機不僅可應用在單晶爐上面降溫使用，還可應用在燒結爐、結晶爐、鑄錠爐等不同生產設備的降溫冷卻，可提供大、中小制冷工程解決方案，非標定制工業及科研使用的冷水機組，廣泛應用在半導體、化工、新能源、制藥、微電子等多個行業領域，用一流的技術和售后服務每一位客戶。
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