| 產品參數 |
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| 品牌 | 科圣達 |
| 是否支持加工定制 | 是 |
| 規格 | 6000mm |
| 可售賣地 | 全國 |
| 型號 | KSD-HLQX | |
全自動晶圓花籃超聲波清洗機造型美觀大方，操作簡單，清洗效率高，質量效果好，適應大批量生產使用。對于工藝管理使用配方方式，方便于各個參數的輸入與管理，并可在設備中設計保護功能來確保操作人員及設備的安全。本機電控部分均采用進口優質件，性能可靠，設備具有清洗速度快、生產效率高、清洗效果好、使用方便、外形美觀、結構合理、使用壽命長等特點，是晶圓盒行業的理想清洗設備。
全自動晶圓花籃超聲波清洗機特點：
清洗過程由人員控制，設備清洗由1個超聲波洗劑槽、3個超聲波純水漂洗槽、及一個離心熱風甩干槽。其工作原理是利用超聲波滲透力強的機械振動力沖擊工件表面并結合清洗劑的化學去污、除油作用使工件表面干凈。工作過程是由操作者將裝有工件的清洗籃放入清洗槽，再由操作者同時送入各個工序段，對工件進行超聲波清洗，超聲波熱水漂洗后出料取出工件。
全自動晶圓花籃超聲波清洗機多頻率超聲全面覆蓋去除不同微米級顆粒。
結合涌流清洗，使細微顆粒徹底與工件分離。
夾持式機械手傳動，定位精確，運行穩定高效。
PLC自動控制，自動化程序高
全自動晶圓花籃超聲波清洗機換能器電聲轉化效率高達 90以上。
自動追頻精度1Hz，接近國際先進水平。
自帶分頻掃頻功能，頻率可切換。
支持485通訊和PLC遠端控制（可選）。
全自動晶圓花籃超聲波清洗機主要適用于批量清洗大量晶圓的情況。這種清洗設備的特點是大容量、高效率、可靠穩定。操作簡單，適用于在半導體生產過程的不同環節進行清洗，無需頻繁更換溶液，避免影響工作效率和生產質量。這種設備最大的缺點是它的運行成本較高，需要大量的工作人員和高昂的清洗劑成本。
全自動晶圓花籃超聲波清洗機適用于精細工作，需要單獨清洗晶圓的情況。這種清洗設備的特點是操作簡便，占用空間小，使用成本低，適用于小批量和個別晶圓清洗的情況。同時，單片清洗設備能夠有效地減少對環境的污染，因為它可以重復使用溶液。
全自動晶圓花籃超聲波清洗機在不同的應用場合下有著各自不同的作用。根據需要，可以靈活選擇合適的清洗設備，以確保晶圓生產的質量和性能。
支持450mm直徑的圓片或15”x15”方片
帶兆聲、DI、刷子、熱DI、高壓DI、熱氮、化學試劑滴膠臂的大腔體
帶化學試劑滴膠的刷子轉速可調節
帶LABVIEW軟件的PC全自動控制
全自動晶圓花籃超聲波清洗機觸摸屏用戶界面
機械手上下載片，帶EFEM以及SMIF界面
安全互鎖及警報裝置
30”D x 26”W 的占地面積
選配項：
化學試劑傳輸模塊
全自動晶圓花籃超聲波清洗機Piranha溶液清洗
臭氧化DI水（20ppm的O3）
氫化的DI水
高壓DI水
熱DI水、
全自動晶圓花籃超聲波清洗機溶劑和酸分離排放
IR紅外加熱
DI水循環機
耐火立柜
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