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全自動晶圓花籃超聲波清洗設(shè)備造型美觀大方，操作簡單，清洗效率高，質(zhì)量效果好，適應(yīng)大批量生產(chǎn)使用。對于工藝管理使用配方方式，方便于各個參數(shù)的輸入與管理，并可在設(shè)備中設(shè)計保護(hù)功能來確保操作人員及設(shè)備的安全。本機(jī)電控部分均采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)件，性能可靠，設(shè)備具有清洗速度快、生產(chǎn)效率高、清洗效果好、使用方便、外形美觀、結(jié)構(gòu)合理、使用壽命長等特點(diǎn)，是晶圓盒行業(yè)的理想清洗設(shè)備。
全自動晶圓花籃超聲波清洗設(shè)備特點(diǎn)：
清洗過程由人員控制，設(shè)備清洗由1個超聲波洗劑槽、3個超聲波純水漂洗槽、及一個離心熱風(fēng)甩干槽。其工作原理是利用超聲波滲透力強(qiáng)的機(jī)械振動力沖擊工件表面并結(jié)合清洗劑的化學(xué)去污、除油作用使工件表面干凈。工作過程是由操作者將裝有工件的清洗籃放入清洗槽，再由操作者同時送入各個工序段，對工件進(jìn)行超聲波清洗，超聲波熱水漂洗后出料取出工件。
全自動晶圓花籃超聲波清洗設(shè)備多頻率超聲全面覆蓋去除不同微米級顆粒。

結(jié)合涌流清洗，使細(xì)微顆粒徹底與工件分離。
夾持式機(jī)械手傳動，定位精確，運(yùn)行穩(wěn)定高效。
PLC自動控制，自動化程序高
全自動晶圓花籃超聲波清洗設(shè)備換能器電聲轉(zhuǎn)化效率高達(dá) 90以上。
自動追頻精度1Hz，接近國際先進(jìn)水平。
自帶分頻掃頻功能，頻率可切換。
支持485通訊和PLC遠(yuǎn)端控制（可選）。
配備漂洗電阻率監(jiān)控系統(tǒng)，檢測漂洗DI水水質(zhì)。
全自動晶圓花籃超聲波清洗設(shè)備風(fēng)刀風(fēng)切 超長紅外熱風(fēng)循環(huán)干燥系統(tǒng)。

PLC控制系統(tǒng)，中/英文操作界面，程序方便設(shè)置，更改，存儲和調(diào)用。
SUS304不銹鋼機(jī)身，管道及零部件，耐溫，耐酸性、堿性等清洗液。
可與前后設(shè)備連接，組成自動清洗線。
全自動晶圓花籃超聲波清洗設(shè)備清洗液濃度監(jiān)測等多種選配配置。
外觀半透明，易觀察槽內(nèi)試劑情況；
耐高低溫：-200～ 260℃
全自動晶圓花籃超聲波清洗設(shè)備耐腐蝕：耐強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、王水、HF和各種有機(jī)溶劑；
耐絕緣：介電性能與溫度、頻率無關(guān)；
防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb；
低的溶出和析出，不會污染實(shí)驗(yàn)器皿等；
全自動晶圓花籃超聲波清洗設(shè)備化學(xué)性能穩(wěn)定，可恢復(fù)性好，不易變形；
特氟龍塑料，經(jīng)久耐用，不易碎。