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全自動硅片快速腐蝕機特點：
1、可完全媲美日本JAC酸腐蝕機。
2、晶圓槽式浸泡式腐蝕清洗，特制轉籠晶圓自動旋轉和自轉。
2、 工藝結果具備高度的均勻一致性，確保腐蝕效果。
3、 全自動硅片快速腐蝕機工藝過程中快速從酸槽轉移至DIW槽，避免硅片過度腐蝕，最短轉移時間可達1.2～2S。
4、 氮氣鼓泡功能，運行中氮氣管路可在酸槽內平行均勻移動，鼓泡速率可調節。

5、 化學藥液多級精細過濾，循環利用并自動補液功能。
6、 全自動硅片快速腐蝕機化學藥液具備InLine加熱冷卻恒溫功能。
7、 配置完善的晶圓倒片專用裝置。
8、 提供標準的制程解決方案。
9、全自動硅片快速腐蝕機通過硬件、軟件配置來較大限度的保護硅片，在異常狀況下設備出現Down機，立刻調動機械手將硅片從化學藥液槽中取出，放至QDR水槽中沖洗，能夠避免化學藥液對硅片的過度腐蝕。在極端條件下，機械手出現Down機，設備立刻將化學藥液槽中的化學藥液排掉，然后注入DIW，從而減小化學藥液對硅片的過度腐蝕。

10、清洗能力： 晶片直徑4英寸至12英寸，每次數量75片/6英寸，50片/8英寸/12英寸
11、全自動硅片快速腐蝕機腐蝕精度： 平整度增量δTTV≤1.5μm。