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全自動TGV晶圓玻璃金屬膜層曝光顯影后圖形化刻蝕清洗機可提供TGV各制程配套濕法清洗設備：
基板材料:石英玻璃、硼硅玻璃、高鋁玻璃、藍寶石玻璃等
基板尺寸：4英寸,6英寸,8英寸晶圓,2-8英寸方片、矩形片,厚度0.1~5mm
全自動TGV晶圓玻璃金屬膜層曝光顯影后圖形化刻蝕清洗機用于晶圓激光打孔前后，玻璃腐蝕后，濺射前，磨拋后，光刻前，全工藝完成后的清洗干燥，通過特定的清洗液，在超聲溢流等不同槽體功能的輔助下將基板表面的顆粒油污等清洗干凈，達到生產過程工藝要求。
全自動TGV晶圓玻璃金屬膜層曝光顯影后圖形化刻蝕清洗機作用為先通過激光誘導后，通過濕法腐蝕的方式，對基板做一些通孔或微結構。基板性質：深徑比＞50：1，最小孔徑 10 微米；
可在濕法刻蝕條件下， 晶圓表面的金屬膜層進行曝光顯影后，對金屬進行圖形化刻蝕；

全自動TGV晶圓玻璃金屬膜層曝光顯影后圖形化刻蝕清洗機參數說明：
外形尺寸：2000×1120 ×1000 mm
加工版面：≤寬600mm(長度不限)
全自動TGV晶圓玻璃金屬膜層曝光顯影后圖形化刻蝕清洗機工作形式：連續進料、雙面噴淋式
過濾形式：供液過濾 下料過濾
加熱系統：鈦合金防腐加熱
全自動TGV晶圓玻璃金屬膜層曝光顯影后圖形化刻蝕清洗機工作溫度：-10-50度（自動恒溫）
蝕刻速度：無級調速
功 率：3.5kw/380V
全自動TGV晶圓玻璃金屬膜層曝光顯影后圖形化刻蝕清洗機控制系統：蝕刻開關、單雙面蝕刻控制開關、自動溫控、水平輪片傳送（無級調速）

注：該機可按具體需求，針對性設計；
全自動TGV晶圓玻璃金屬膜層曝光顯影后圖形化刻蝕清洗機技術參數：
1．溫度范圍：室溫 5℃～55℃
2．溫度均
4．鹽霧沉降量：1~2ml/h.80cm2
5．全自動TGV晶圓玻璃金屬膜層曝光顯影后圖形化刻蝕清洗機噴霧方式：連續、間隙噴霧任意選擇
6．試驗定時 ：1～999（S、M、H）可調勻度：≤2℃
7．溫度波動度：≤±0.5℃
全自動TGV晶圓玻璃金屬膜層曝光顯影后圖形化刻蝕清洗機特點：
通過高壓噴淋及被蝕刻板直線運動形成連續不間斷進料狀態進行對工件腐蝕以提高生產效率；
全自動TGV晶圓玻璃金屬膜層曝光顯影后圖形化刻蝕清洗機加大了噴淋與被蝕刻金屬板的有效面積和蝕刻均勻程度，無論在蝕刻效果、速度和改善操作者的環境及方便程度，都優于潑濺式蝕刻；

經反復實驗噴射壓力在1-2 Kg/cm2的情況下被蝕刻工件上所殘留的蝕刻圬漬能被有效清處掉，使蝕刻速度在傳統蝕刻法上大大提高，由于該蝕刻機液體可循環再生使用，此項可大大降低蝕刻成本，也可達到環保加工要求。 ·該雙面腐蝕機可配備自動烘干烘烘道，自動雙面顯影機，自動上色機，數控制版機，堆金電鍍機可達到各種金屬加工行業的批量加工要求；
此機適合單雙面圖文腐蝕，亦能雕穿金屬形成鏤空效果，適合現有仍采用較老式的潑濺式蝕刻機或其它金屬加工廠升級設備。
全自動TGV晶圓玻璃金屬膜層曝光顯影后圖形化刻蝕清洗機可對各種金屬如：鐵、銅、鋁、鈦金、不銹鋼、鋅版、等金屬和金屬制品的表面蝕刻圖紋、花紋、幾何形狀，并能精確鏤空。也可專業針對各種型號的國產和進口不銹鋼進行蝕刻和薄板切割，如今廣泛應用于金卡標牌加工、手機按鍵加工、不銹鋼濾網加工、不銹鋼電梯裝飾板加工、金屬引線框加工、金屬眼睛腳絲加工、線路板加工、裝飾性金屬板加工等工業用途。