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TGV玻璃通孔技術(shù)被認(rèn)為是下一代三維集成的關(guān)鍵技術(shù)。目前TGV已成為半導(dǎo)體3D封裝領(lǐng)域研究重點(diǎn)和熱點(diǎn)，盡管玻璃基板的使用率還未普遍，但有預(yù)測稱，一旦實(shí)現(xiàn)，將成為基板行業(yè)新的游戲規(guī)則改變者。
全自動(dòng)TGV晶圓玻璃光刻后超聲波清洗機(jī)在業(yè)內(nèi)率先提出TGV3.0，是國內(nèi)玻璃通孔技術(shù)的引領(lǐng)者，主力開發(fā)玻璃基三維集成基板、3D微結(jié)構(gòu)玻璃及Chiplet三維集成等先進(jìn)封裝領(lǐng)域解決方案。現(xiàn)旗下三疊紀(jì)公司已研制成功，成為國內(nèi)甚至國際領(lǐng)先技術(shù)。
全自動(dòng)TGV晶圓玻璃光刻后超聲波清洗機(jī)玻璃材料幾乎沒有自由移動(dòng)的電荷，介電性能優(yōu)良、介電常數(shù)低，玻璃通孔技術(shù)(TGV)可以有效避免TSV的高頻損耗問題；同時(shí)，TGV技術(shù)還可以省去銅填充前的前阻擋層和氧化覆膜層制作；此外，顯著減小鍍銅層與基板之間的過孔電容，降低過孔有源和無源電路之間的電磁干擾。這樣不僅大幅提高射頻微系統(tǒng)的性能(相對TSV)、減小體積(相對TCV)，而且可大幅降低工藝復(fù)雜度和加工成本。且可實(shí)現(xiàn)最多4層基板堆疊，垂直互聯(lián)，三維封裝，最小孔徑達(dá)10μM，因此，對射頻微系統(tǒng)而言，TGV作為通用、基礎(chǔ)的系統(tǒng)級封裝技術(shù)，是理想的射頻微系統(tǒng)三維集成解決方案。

成無源器件IPD、折疊屏、Micro LED、微流控提供基板材料和集成技術(shù)。
全自動(dòng)TGV晶圓玻璃光刻后超聲波清洗機(jī)可提供TGV各制程配套濕法清洗設(shè)備：
全自動(dòng)TGV晶圓玻璃光刻后超聲波清洗機(jī)基板材料:石英玻璃、硼硅玻璃、高鋁玻璃、藍(lán)寶石玻璃等
全自動(dòng)TGV晶圓玻璃光刻后超聲波清洗機(jī)基板尺寸：4英寸,6英寸,8英寸晶圓,2-8英寸方片、矩形片,厚度0.1~5mm
用于晶圓激光打孔前后，玻璃腐蝕后，濺射前，磨拋后，光刻前，全工藝完成后的清洗干燥，通過特定的清洗液，在超聲溢流等不同槽體功能的輔助下將基板表面的顆粒油污等清洗干凈，達(dá)到生產(chǎn)過程工藝要求。
全自動(dòng)TGV晶圓玻璃光刻后超聲波清洗機(jī)作用為先通過激光誘導(dǎo)后，通過濕法腐蝕的方式，對基板做一些通孔或微結(jié)構(gòu)。基板性質(zhì)：深徑比＞50：1，最小孔徑 10 微米；
可在濕法刻蝕條件下， 晶圓表面的金屬膜層進(jìn)行曝光顯影后，對金屬進(jìn)行圖形化刻蝕；
全自動(dòng)TGV晶圓玻璃光刻后超聲波清洗機(jī)結(jié)構(gòu)：
采用玻璃鋼一次壓模成型，耐酸堿耐腐蝕、耐高溫、耐碰撞、易清洗等優(yōu)點(diǎn)

為錐形設(shè)計(jì)，成120℃頂角，有利于鹽霧產(chǎn)生的液滴不直接滴落在試樣上，保證了試樣的準(zhǔn)確度
全自動(dòng)TGV晶圓玻璃光刻后超聲波清洗機(jī)左側(cè)設(shè)有分液管壹個(gè)，可以測定鹽霧沉降量大小4) 設(shè)備箱蓋和箱體之間設(shè)有水密封凹槽，氣密封性好，并設(shè)有放水裝置
工作室底部設(shè)有擋水圈，中間為溢水口，既可保持一定水位，防止箱體老化，又可將多余的水排出箱外
獨(dú)特門鏈，開閉箱門輕松自如，四周水槽無鹽霧溢出。YW/R-010以上的規(guī)格箱門開啟采用獨(dú)特的氣動(dòng)式，可直接在控制面板上操作。
全自動(dòng)TGV晶圓玻璃光刻后超聲波清洗機(jī)材質(zhì)：
整體為進(jìn)口PVC增強(qiáng)硬質(zhì)塑料板，表面光潔平整，并耐老化、耐腐蝕、易清洗、無泄露，摒棄玻璃鋼材質(zhì)應(yīng)時(shí)間 而產(chǎn)生表面退色纖維化
全自動(dòng)TGV晶圓玻璃光刻后超聲波清洗機(jī)進(jìn)口耐沖擊板材制造，便于試驗(yàn)時(shí)觀測試驗(yàn)樣品受試狀況

進(jìn)口PVC板， 超大鹽水箱設(shè)計(jì)，杜絕因缺少鹽水而中斷試驗(yàn)
高壓空氣管：銅管或橡膠管
全自動(dòng)TGV晶圓玻璃光刻后超聲波清洗機(jī)飽和空氣桶：采用進(jìn)口高級不銹鋼（SUS304）板；采用亨利定律，予以加溫加濕，并提供實(shí)驗(yàn)所需之濕度（飽和空氣桶作用：針對壓縮進(jìn)去的空氣加熱、加濕以及油過濾）
所有管道均采用加厚型氟硅橡膠管，十五年可保持不老化及龜裂
形狀為人字拱形（冷凝水滴從斜壁回流箱內(nèi)，不會(huì)產(chǎn)生滴落于樣品上的現(xiàn)象）
全自動(dòng)TGV晶圓玻璃光刻后超聲波清洗機(jī)與箱體采用水密封，從而防止鹽霧外泄
標(biāo)準(zhǔn)配置：圓棒8個(gè)、V型樣品架4支、玻璃噴嘴2只、漏斗2支、計(jì)量筒2套、排氣管：2m、噴霧管：2m、電源連接：3 米連接線、排水裝置：排水管尺寸直徑為40mm，用于排廢水及霧氣
其它設(shè)計(jì)：配電箱安裝除濕排風(fēng)扇，防止潮濕天氣，損壞控制電器750型號以上箱蓋開啟為氣壓缸自動(dòng)開關(guān)、操作方便