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TGV玻璃通孔技術被認為是下一代三維集成的關鍵技術。目前TGV已成為半導體3D封裝領域研究重點和熱點，盡管玻璃基板的使用率還未普遍，但有預測稱，一旦實現，將成為基板行業新的游戲規則改變者。
全自動TGV晶圓玻璃濺射后超聲波清洗機可提供TGV各制程配套濕法清洗設備：
基板材料:石英玻璃、硼硅玻璃、高鋁玻璃、藍寶石玻璃等
全自動TGV晶圓玻璃濺射后超聲波清洗機基板尺寸：4英寸,6英寸,8英寸晶圓,2-8英寸方片、矩形片,厚度0.1~5mm
全自動TGV晶圓玻璃濺射后超聲波清洗機用于晶圓激光打孔前后，玻璃腐蝕后，濺射前，磨拋后，光刻前，全工藝完成后的清洗干燥，通過特定的清洗液，在超聲溢流等不同槽體功能的輔助下將基板表面的顆粒油污等清洗干凈，達到生產過程工藝要求。
全自動TGV晶圓玻璃濺射后超聲波清洗機作用為先通過激光誘導后，通過濕法腐蝕的方式，對基板做一些通孔或微結構。基板性質：深徑比＞50：1，最小孔徑 10 微米；

可在濕法刻蝕條件下， 晶圓表面的金屬膜層進行曝光顯影后，對金屬進行圖形化刻蝕；
全自動TGV晶圓玻璃濺射后超聲波清洗機參數說明：
外形尺寸：2000×1120 ×1000 mm
加工版面：≤寬600mm(長度不限)
全自動TGV晶圓玻璃濺射后超聲波清洗機工作形式：連續進料、雙面噴淋式
過濾形式：供液過濾 下料過濾
加熱系統：鈦合金防腐加熱

全自動TGV晶圓玻璃濺射后超聲波清洗機工作溫度：-10-50度（自動恒溫）
蝕刻速度：無級調速
功 率：3.5kw/380V
控制系統：蝕刻開關、單雙面蝕刻控制開關、自動溫控、水平輪片傳送（無級調速）
注：該機可按具體需求，針對性設計；
全自動TGV晶圓玻璃濺射后超聲波清洗機材質：
整體為進口PVC增強硬質塑料板，表面光潔平整，并耐老化、耐腐蝕、易清洗、無泄露，摒棄玻璃鋼材質應時間 而產生表面退色纖維化
全透明進口耐沖擊板材制造，便于試驗時觀測試驗樣品受試狀況
全自動TGV晶圓玻璃濺射后超聲波清洗機進口PVC板， 超大鹽水箱設計，杜絕因缺少鹽水而中斷試驗
高壓空氣管：銅管或橡膠管

飽和空氣桶：采用進口高級不銹鋼（SUS304）板；采用亨利定律，予以加溫加濕，并提供實驗所需之濕度（飽和空氣桶作用：針對壓縮進去的空氣加熱、加濕以及油過濾）
全自動TGV晶圓玻璃濺射后超聲波清洗機所有管道均采用加厚型氟硅橡膠管，十五年可保持不老化及龜裂
形狀為人字拱形（冷凝水滴從斜壁回流箱內，不會產生滴落于樣品上的現象）
與箱體采用水密封，從而防止鹽霧外泄
全自動TGV晶圓玻璃濺射后超聲波清洗機標準配置：圓棒8個、V型樣品架4支、玻璃噴嘴2只、漏斗2支、計量筒2套、排氣管：2m、噴霧管：2m、電源連接：3 米連接線、排水裝置：排水管尺寸直徑為40mm，用于排廢水及霧氣
配電箱安裝除濕排風扇，防止潮濕天氣，損壞控制電器750型號以上箱蓋開啟為氣壓缸自動開關、操作方便