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全自動碳化硅陶瓷基板超聲波清洗機應用行業有：
通信器件、LED封裝、電力電子器件、半導體制冷器件、大功率集成電路、新能源汽車等。
工藝的不同：
機械強度和硬度增加，相應的導熱率比氧化陶瓷基板更高。氮化陶瓷基板生產制作難度增加，加工工藝也有所不同。
污染源：
全自動碳化硅陶瓷基板超聲波清洗機用超純水（超聲波清洗機）清洗不損傷氮化鋁陶瓷基板表面，還能有效清洗掉因激光產生的黑邊。
能做到清洗產品表面污垢、并干燥。并且，設備能力可以達到節拍 3～8 分鐘(可調)清洗一籃。

全自動碳化硅陶瓷基板超聲波清洗機配置：
在清洗部分與慢拉及熱風烘干部份分別獨立電器控制。采用水溶劑洗滌、純水漂洗、慢拉脫水熱風烘干等工藝，為環保型清洗機。
設備內槽尺寸：L280×W390×H300（mm）。
材質：進口SUS316板。
全自動碳化硅陶瓷基板超聲波清洗機槽體結構：
1、每槽設四面溢流口，溢水槽寬35mm，各槽均為獨立循環槽，由循環泵將洗劑由儲液箱抽出經過濾后再運回清洗槽，即子母槽循環。
2、設置獨立循環過濾系統。
3、全自動碳化硅陶瓷基板超聲波清洗機各槽底部設排液閥且互相串聯至總排管。
4、槽內設溫度感應器，溫控范圍：RT-100。
5、槽外設置拋動。

全自動碳化硅陶瓷基板超聲波清洗機慢拉槽體結構：
槽面設齒狀溢流結構，純水由純水預熱箱進入。槽外貼保溫棉厚10mm。
槽體設“OMRON”數顯溫控系統，檢測槽內工作溫度，溫控范圍，常溫～120.
槽體上部設抽風小孔，將溢出水蒸汽抽走，防止水汽再次附著于提出的產品上。
全自動碳化硅陶瓷基板超聲波清洗機熱風烘干槽配置：
材質：采用進口SUS304，厚2mm不銹鋼板，外包不銹鋼沙膠板，中間填巖棉。
結構：每個烘干槽配置一套氣缸，氣缸帶動產品一起運動，形成密封蓋。
全自動碳化硅陶瓷基板超聲波清洗機加熱系統：外置式不銹鋼加熱。內置不銹鋼加熱管，功率：12KW；配OMRON數顯式溫控系統，監控箱內熱風溫度。溫控范圍：常溫～120.
FFU壓風系統機構：在烘干槽正上方的機架頂部設置一個FFU層流送風單元。由上往下吹風形成負壓風，致使工件加熱后附著物不易粘附。
FFU壓風系統功能：因慢拉槽液溫較高，如無頂部的FFU壓風。大量的水汽將往上騰，水汽會再次附著于提出的產品上，安裝FFU后，可在上方形成局部正壓，大部分水汽從缸面的抽氣口抽走。