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石英管清洗機主要采用手動搬運方式，通過對擴散、外延等設備的石英管、碳化硅管腐蝕、漂洗等方式進行處理，從而達到一個用戶要求的清洗效果。主體采用PP板，骨架采用不銹鋼外包PP防腐板；適用于各種規(guī)格石英管、石英器皿及其它工件的清洗和干燥；適用于各種規(guī)格石英管、石英器皿及其它工件的清洗和干燥。
石英管清洗機可根據(jù)客戶需求定制，可根據(jù)不同規(guī)格型號的石英工件，可選擇上/下噴藥液、旋轉、氮氣鼓泡、熱氮干燥等形式，有效取出石英工件上的各種粘污；
特點：
1.腐蝕漂洗能力強，性能穩(wěn)定，安全可靠；
2.設備成本合理，自動化程度高，使用成本低；
3.技術先進，結構合理，適宜生產(chǎn)線上大批次操作。

石英管清洗機上層電器控制系統(tǒng)及抽風系統(tǒng)，中層工作區(qū)，下層為管道安裝維修區(qū)，主體結構由清洗機主體、酸洗槽、水清洗槽、防漏盤、抽風系統(tǒng)、工件滾動系統(tǒng)、氮氣鼓泡系統(tǒng)、支撐及旋轉驅動機構、管路部分、電控部分。設備裝有雙防漏盤結構，并有防漏檢測報警系統(tǒng)，在整臺設備的底部裝有接液盤。槽體下方配有傾斜式防漏層。
石英管清洗機功能說明：
制程均勻度可用 recipe 調(diào)控。
良率優(yōu)于 wet bench type。
石英管清洗機單片模式之機況可控制可追溯。
制程個別參數(shù)易于調(diào)整。
可控制之藥液量使用,能保持每片晶片之相同制程環(huán)境。
石英管清洗機潔凈度控制優(yōu)于批次生產(chǎn)。

Footprint 較小。
這用于 wafer dry in / dry out制程。
機臺之安全性優(yōu)于 bench type。
為未來濕式高階設備之主流機臺。
石英管清洗機清洗工藝流程：
　　檢查水、電、氣正常→啟動電源→人工上料→注酸→槽體底部氮氣鼓泡→石英管轉動（7轉/min）→進入酸泡程序→自動排酸(到儲酸箱)→槽體底部自動注水（同時氣動碟閥關閉）→懸浮顆粒物經(jīng)過溢流壩流出→排水碟閥打開（重顆粒雜質(zhì)排出）→初級潔凈水經(jīng)過溢流壩溢出→清洗次數(shù)重復循環(huán)（人工控制）→下料。