產品簡介
Mahr用MARSURF UD 130 綜合性輪廓和表面測量站替換了成功的MarSurf UD 120，并封閉了解決方案MarSurf LD 130/LD 260與具有兩個驅動單元的標準組合測量站MarSurf XCR 20之間的間隙。
詳細介紹
Mahr用MARSURF UD 130 綜合性輪廓和表面測量站替換了成功的MarSurf UD 120，并封閉了高端解決方案MarSurf LD 130/LD 260與具有兩個驅動單元的標準組合測量站MarSurf XCR 20之間的間隙。
MarSurf UD 130的技術規范遠遠優于MarSurf UD 120：特別是測量和定位速度減少了每個工件的測量時間。
測量速度（文本）
0.1 mm/s to 5 mm/s;
for roughness measurements
0.1 mm/s to 0.5 mm/s are recommended |
掃描長度末尾（X 方向）
130 mm |
分辨率
2 nm |
掃描長度開始（X 方向）
0.1 mm |
定位速度（文本）
0.1 mm/s to 30 mm/s |
輸入
Standard probe LP-D 14-10-2/60° |
測量范圍 mm
10 mm (100 mm probe arm)
20 mm (200 mm probe arm) |
輪廓分辨率
2 nm |
掃描長度（文本）
0.1 mm to 130 mm |
測量力 (N)
1 mN to 30 mN, software-adjustable |
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